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更新時(shí)間：2026-01-27 20:17:34瀏覽次數(shù)：290次
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OSAKAVACUUM大阪真空 TG50F 復(fù)合分子泵
OSAKAVACUUM大阪真空 TG60F-20 復(fù)合分子泵
| 電動機(jī)功率 | 350kW | 外形尺寸 | 1350 x 800 x 160mm |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,綜合 | 重量 | 100kg |
| 加壓能力 [kN] | 800 | 行程長度 [毫米] | 25 - 60 |
| 劃水次數(shù) [SPM] | 180 - 2500 | 模具高度（可調(diào)整） [mm (mm)] | 228-230(20) |
| 支撐 RL x FB xt [毫米] | 1350 x 800 x 160 |
OSAKAVACUUM大阪真空 TG3213 軸承分子泵
OSAKAVACUUM大阪真空 TG3213 軸承分子泵
產(chǎn)品查找器
大阪真空設(shè)備廠首頁 產(chǎn)品查找器 渦輪分子泵 TG3213
TG3213
■有標(biāo)準(zhǔn)型和耐腐蝕性氣體排放的化學(xué)型。
■能夠抵抗突然大氣入侵的結(jié)構(gòu)
■ 抗外部沖擊
■可進(jìn)行串行通信
■安全標(biāo)準(zhǔn)
NRTL/SEMI-S2
目的
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD制造
?表面處理、表面改性
?制造各種電子元件
燈泡制造、光學(xué)元件制造
加速器、輻射設(shè)施、核聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
*對于潔凈工藝，請選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
規(guī)格
外部尺寸
性能曲線
控制器
進(jìn)氣法蘭 VG300
ISO-B320
泵送速度N2 （升/秒）3200
N 2（帶防護(hù)網(wǎng)）（升/秒）3000
H2 （升/秒）2500
最大壓縮比 N21× 108
H26× 103
極限壓力 VG?ISO-B (Pa)<1× 10
VG?ISO-B（托）<7.5 × 10
最大氣體流量*1N2 （ sccm）543
啟動時(shí)間（分鐘） 10-15
停機(jī)時(shí)間（分鐘）25-30
允許的輔助壓力（帕/托）270/2
推薦的備用泵（升/分鐘）1500
潤滑劑用量（毫升）260
安裝位置垂直（±10°）
大量的（千克）100
控制器模型TC3213
*1：輔助泵流量為 3000 升/分鐘時(shí)的最大允許流量
[環(huán)境工作溫度]
保證極限壓力下的環(huán)境溫度為10至23℃，允許的環(huán)境溫度為10至40℃。保證極限壓力下冷卻水溫度為30℃或以下，允許的冷卻水溫度為10至35℃。
[兼容氣體類型]
根據(jù)吸入氣體的類型，可能會導(dǎo)致軸承潤滑劑和內(nèi)部零件劣化。請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
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