otsuka大塚電子 SM-100S 智能涂層測厚儀　

otsuka大塚電子 SM-100S 智能涂層測厚儀　

高精度便攜式薄膜測厚儀

“

我想測的時候不能立即測量"、

“測量結(jié)果因人而異"、

“測量精度差"

您在測量薄膜厚度時是否遇到過這些問題？這款智能薄膜測厚儀具備以下特點，可以解決您的問題。

?便于攜帶至生產(chǎn)現(xiàn)場

?它很簡單，任何人都可以使用。

?即使是手持式也能進行高精度測量

?形狀不規(guī)則的樣品也可以進行無損測量

 產(chǎn)品信息

特征

便攜型，重量僅1.1公斤，方便攜帶

“高精度測量 & 簡易測量" 無需校準曲線，即可測量最小厚度達 0.1 μm 的樣品。

“多層薄膜支撐"：可測量最多三層的多層薄膜。

“無損、非接觸式測量"——測量過程不會對樣品造成任何損傷。

“測量各種樣品" 測量可在任何基材（玻璃、塑料）上進行。

1. 便于攜帶到現(xiàn)場的字體

① 小型光譜儀

② 小型白色光源

3）設(shè)備內(nèi)置計算機

傳統(tǒng)上，分析是在個人電腦上完成的，但是……

分析

展示

手術(shù)

觸摸面板就能實現(xiàn)這一點！

④電池供電

⑤參考鏡

⑥可更換探針

優(yōu)點

你可以把它帶到以前去不了的地方！

原因

光譜儀小型化、電池故障等。

場景1：商務(wù)旅行目的地

場景二：生產(chǎn)線

場景3：無法移動的東西

2：它很簡單，所以任何人都可以使用。

優(yōu)點

無需任何專業(yè)知識或操作培訓(xùn)！

原因 1無需組裝，打開即可使用。

設(shè)置狀態(tài)

原因二只需將探針放在樣品上即可進行測量。

簡單的

原因三通過觸摸面板進行直觀操作

幾乎不需要任何設(shè)置

！

3：即使是手持式也能進行高精度測量

優(yōu)點

可以以0.1微米為增量進行精確測量。

原因

它采用光譜干涉法

原則測量涂覆在基材上的薄膜

從上方入射的光線

會在薄膜表面反射

，穿過薄膜的光線會在襯底和薄膜的界面處反射。

此時

測量由光程差引起的相位偏移所造成的

光學(xué)干涉現(xiàn)象

薄膜厚度由獲得的反射光譜和折射率計算得出。

4：異形樣品也可以進行無損測量。

優(yōu)點

①可測量大尺寸樣品。②

可進行無損測量。③

可測量各種形狀的樣品。

原因

因為這是一項需要施加探針的測量。

即使是無法放置在傳統(tǒng)桌面設(shè)備上的

物品，它也可以用于此。

無需剪掉它

無需施加壓力，例如捏或按壓。

優(yōu)點

① 可測量各種形狀的樣品。②

可測量大型樣品。③

可進行無損測量。

原因

探針可以更換以適應(yīng)樣品。

探頭①：標準探頭

用于平面樣品

（例如）電影，簡單形狀

探針②：筆式探針選項

適用于空間或形狀狹窄的樣品

（例如）電影，簡單形狀

探針③：非接觸式平臺選項

用于存放您不想接觸的樣品

（例如）濕膜、半導(dǎo)體晶片

 規(guī)格

規(guī)格

　物品專業(yè)版標準

　模型SM-100PSM-100S

　測量方法反射光譜法（光學(xué)干涉法）

　測量薄膜厚度范圍*10.1 至 100 微米（單層）

　1 至 100 微米（多層）1至50微米（單層）

　多層支撐最多 3 層1層

　測量重復(fù)性2.1σ 0.01μm（氧化硅薄膜 1μm）

　測量點直徑直徑 1 毫米或更小

　數(shù)據(jù)輸出格式以文本格式導(dǎo)出到U盤

　體型尺寸約為 138（寬）x 198（深）x 61（高）毫米

（含凸起部分）

　重量約1.1公斤

　運行時間超過 4 小時（測量期間）

　電源電壓/功率AC100-240V/35VA（交流適配器輸入）

　保護等級IP30/IK06

*1 當樣品折射率為 1.6 時