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產地類別	進口	應用領域	化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合
自動化選件	自動化工作流程自動液體給樣自動粉末給樣	符合21 CFR 第11 部分的稱量規(guī)定	是
價格	$	自動靜電偵測	是
文件選項	列印基本電子文件自動文件記錄（符合21 CFR第11部分之規(guī)定）	建議產業(yè)	制藥
功能	使用者管理密碼保護支援21 CFR Part 11 水平指引目動給樣自動門自動靜電偵測	建議用于生物制藥	是
天平類型	自動化Tenpyo	合規(guī)性選項	密碼保護日志歷史記錄(基本中繼資料) 日志歷史記錄（符合21 CFR第11部分之規(guī)定）資料完整
天平系列	XPR系列	認證天平	否
重復性，自動化（于5%荷重下）–門關閉	0.005毫克	線性偏差	0.1毫克
典型可再現(xiàn)性（于5%荷重下） –門關閉	0.003毫克	外形尺寸(高x寬x深)	453毫米 x 195毫米 x 485毫米
最小重量自動化（USP，容差= 0.10%）– 判定于5%負載物，k = 2	6毫克	重復性（于5%荷重下）	0.01毫克
最小稱重量（USP，容差=0.10%） –于5%荷重下、k = 2時測定	8毫克	最小重量自動化（容差= 1%）– 判定于5%負載物，k = 2	0.6毫克
最小稱重量（容差=1%）–于5%荷重下、k = 2時測定	0.8毫克	介面	RS232 (整合式/ 選配) USB-A (連接至裝置) USB-B (連接至裝置) 乙太網路（

Canonanelva佳能真空電離真空計 M-311HG

型號名稱離子計

M-311HG-SP M-311HG-RS

壓力測量范圍1× 10??至10帕

輸入電壓20至28伏直流電

功耗12瓦

模擬輸出0 至 10 伏-

設定點2點繼電器輸出

界面- RS485

輸入/輸出連接器 Dsub-9（男聲）

最大電纜長度 200 米（1平方毫米）

工作溫度范圍 5至50攝氏度

存儲溫度范圍 -20 至 70°C

傳感器型號名稱微型BA壓力表（MG-2I系列）

傳感器材料（主要部件）燈絲：Y 2 O 3 /Ir，外殼：SUS304

外形尺寸（毫米）110×70×50

法蘭形狀NW16、NW25、ICF34、ICF70

一致CE認證、RoHS認證、IP40防護等級

從10 -7 Pa 到 10 Pa 的寬壓力測量范圍，使得在濺射過程之外的低真空區(qū)域進行測量成為可能，而不會犧牲超高真空側的特性。

高響應模擬輸出

壓力值的模擬信號輸出保證在 100 毫秒內實現(xiàn)高響應，也可用于過程壓力控制。

根據應用場景，可以選擇四種發(fā)射電流設置模式，例如在高壓環(huán)境下使用時可提高燈絲壽命。

生產真空設備的壓力測量

半導體濺射設備的壓力測量

各種真空設備

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