適用于Ar、N2等惰性氣體及Air的流量控制。由于型號(hào)固定，所以制作周期較短。
選配VR（可變流量）功能可改變流量范圍。支持RS-485數(shù)字通信接口

使用范例
LINTEC林泰克日本北崎直供 質(zhì)量流量控制器 MC-11RC-11
LINTEC林泰克日本北崎直供 質(zhì)量流量控制器 MC-11RC-11

PVD

在PVD濺射鍍膜設(shè)備中，通常使用Ar（氬），這是一種穩(wěn)定的、耐化學(xué)反應(yīng)的惰性氣體。 如果您需要使用MFC控制Ar之類的惰性氣體的流量，我們建議使用經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器（MC-10RC）。

惰性氣體分析、實(shí)驗(yàn)設(shè)備

如果流量控制的目標(biāo)氣體不會(huì)腐蝕密封材中的樹(shù)脂部分，我們建議使用經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器MC-10RC。此外，可選的VR功能可支持不同氣體類型與流量范圍。該產(chǎn)品是簡(jiǎn)單實(shí)驗(yàn)、分析設(shè)備的理想選擇。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據(jù)選配規(guī)格變化。

■簡(jiǎn) 介
●MC-10系列主要對(duì)應(yīng)短制作時(shí)間及低成本考慮需求的質(zhì)量    流量控制器
■特 點(diǎn)
●使用橡膠密封，著重低成本考慮
●流量精度于±1%F.S.內(nèi)
●適用10SCCM～50SLM的寬廣滿量程流量范圍
●可追加變更流量范圍功能VR : (基準(zhǔn)流量)÷(全流量)   ×C.F.=VR值，將不同VR值輸入機(jī)臺(tái)外部的3位數(shù)旋鈕   即可選擇不同氣體種類及滿量程流量
●搭載VR機(jī)能，一臺(tái)質(zhì)量流量控制器，可適用各種不同氣體   以及滿量程流量的變更，降低用戶成本
●可追加RS-485通訊接口，最高可同時(shí)連接32臺(tái)質(zhì)量   流量控制器
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器
●采用高速度，高性能的電磁控制閥
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場(chǎng)的  環(huán)境下亦能維持其安定性