2

外形尺寸

58 × 25 × 25 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：鋼，130 g；.NM：鈦合金，陶瓷，75 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

15 mm

5

速度范圍

默認(rèn)：0.1 mm/s ~ 1 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s

6

驅(qū)動(dòng)力

30 N

7

保持力

40 N

8

雙向重復(fù)定位精度

± 125 nm

9

全程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

10

最小步伐（開環(huán)）

2 nm

11

最小步伐（閉環(huán)）

5 nm

12

開環(huán)分辨率

0.02 nm

13

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

2 nm

15

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

16

控制器規(guī)格

MC–LuZhishen 系列

2

外形尺寸

110 × 30 × 40 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：鋼，200 g；.NM：鈦合金，陶瓷，130 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

70 mm（長(zhǎng)度可定制）

5

速度范圍

默認(rèn)：0.1 mm/s ~ 3 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 mm/s ~ 0.9 mm/s

6

驅(qū)動(dòng)力

100 N

7

保持力

120 N

8

最小步伐（開環(huán)）

2 nm

9

開環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率

0.02 nm

10

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)

11

控制器規(guī)格

MC–LuZhishen 系列