這是最基礎(chǔ)的原理。儀器的高精度探針緩慢接觸樣品表面，從基底移動(dòng)到膜層上方，通過(guò)探針感知的高度差，直接測(cè)量膜層的實(shí)際厚度。優(yōu)點(diǎn)是精度高，適合厚膜（如金屬膜、涂層），但可能會(huì)輕微損傷樣品表面。

 

2.光學(xué)式（反射/折射法）

 

利用光的反射或干涉特性工作，也是桌面式非常常用的類型。光線照射到膜層表面后，會(huì)同時(shí)發(fā)生膜層上表面反射和膜層與基底界面反射，兩束反射光產(chǎn)生干涉條紋。儀器通過(guò)分析干涉條紋的間距、強(qiáng)度等參數(shù)，結(jié)合膜層的光學(xué)折射率，自動(dòng)計(jì)算出膜厚。適合薄膜（如光學(xué)膜、半導(dǎo)體薄膜），非接觸式不會(huì)損傷樣品。

 

3.渦流感應(yīng)法

 

主要針對(duì)導(dǎo)電膜層（如金屬膜）。儀器的探頭產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，當(dāng)磁場(chǎng)靠近導(dǎo)電膜層時(shí)，會(huì)在膜層內(nèi)產(chǎn)生渦流，渦流又會(huì)反過(guò)來(lái)影響探頭的磁場(chǎng)強(qiáng)度。膜厚不同，渦流強(qiáng)度也不同，儀器通過(guò)檢測(cè)磁場(chǎng)變化量，自動(dòng)換算出膜層厚度。適合金屬膜、導(dǎo)電涂層的快速檢測(cè)，非接觸且效率高。