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X熒光光譜儀是測定材料發(fā)光性能的基本設備。主要包括光源、激發(fā)單色器、樣品池、熒光單色器及探測器等主要部件。而探測器是很重要的一環(huán)，它的重要作用是接受和分辨信號，由于探測器性能的不同，在選用探測器時，就需要綜合考慮多種因素。
好的探測器不僅需要具有高分辨率和高計數(shù)率，還需要有較寬的元素分析范圍和有效活性區(qū)。其應用領(lǐng)域和使用環(huán)境等也是需要關(guān)注之一。
就目前X熒光光譜儀常用的三種X射線探測器而言，產(chǎn)生一個離子對的平均能量，在Si(Li）探測器、流氣式正比計數(shù)器、閃爍計數(shù)器之間大約相差一個量級，而分辨率與統(tǒng)一個光子產(chǎn)生的電子數(shù)的平方根成正比，故三者之間的分辨率也粗略相差三倍。由人射光子在探測器中產(chǎn)生的等價離子對數(shù)目與人射光子能量成正比，與產(chǎn)生離子對的平均能量成反比。
三種X射線探測器的比較：
1、流氣式正比計數(shù)器適用波長范圍0.15～5.0/nm，平均能量/離子對26.4eV，電子數(shù)305/光子，分辨率1.2/keV。
2、NaI閃爍計數(shù)器適用波長范圍0.02~0.2/nm，平均能量/離子對350eV，電子數(shù)23/光子，分辨率3.0/keV。
3、Si(Li)探測器適用波長范圍0.05～0.8/nm，平均能量/離子對3.6cV，電子數(shù)2116/光子，分辨率0.16/keV。
盡管X熒光光譜儀由于使用分光晶體而達到約12eV的分辨率，但新的能量探測器已經(jīng)可達到4eV，在分辨率方面已取得優(yōu)勢。
事實上如果新型能量探測器在計數(shù)率和制造工藝的穩(wěn)定性方面能取得突破，則X熒光光譜儀有可能在未來逐步取代復雜的波長色散X熒光光譜設備，成為X熒光光譜分析領(lǐng)域的主流
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