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納米位移電容傳感器的工作原理及典型應(yīng)用
什么是納米位移電容傳感器
納米位移電容傳感器由傳感器探頭、放大器和電源組成。具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、非接觸、頻響寬等特點(diǎn)，被認(rèn)為是*性的微位移傳感技術(shù)，廣泛用于納米位移與定位控制系統(tǒng)。
納米位移電容傳感器的工作原理
納米位移電容傳感器是基于理想平板電容原理設(shè)計(jì)研發(fā)的，被測(cè)物體與傳感器各自作為一個(gè)平板電極。給傳感器一個(gè)持續(xù)穩(wěn)定的交流電，交流電壓的振幅變化與電容到被測(cè)物體之間的距離成正比。交流電經(jīng)過(guò)解調(diào)，可以測(cè)出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大、靈敏度高、頻響寬、非線性小、精度穩(wěn)定性好、無(wú)損耗等特點(diǎn)。
納米位移電容傳感器的特點(diǎn)
1.非線性度小
非接觸式設(shè)計(jì)，測(cè)量點(diǎn)和被測(cè)量點(diǎn)之間不接觸，避免了測(cè)量時(shí)的干擾，提高了測(cè)量的精度。將對(duì)被測(cè)目標(biāo)的影響降到低，解決平板電容模型邊緣效應(yīng)，解決常規(guī)采集電容片電場(chǎng)帶來(lái)的非線性問題。
2.分辨率高
通過(guò)設(shè)計(jì)電纜屏蔽和的運(yùn)放驅(qū)動(dòng)法進(jìn)行了優(yōu)化和處理，運(yùn)用運(yùn)算放大器來(lái)驅(qū)動(dòng)的方法，用電纜屏蔽和算法，進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，從而解決了電容值采集值放大，提高了測(cè)量的精度，并降低了干擾。解決電容傳感器采集電容容值較低，易受寄生電容和自身電容誤差帶來(lái)干擾問題，且在噪聲抑制處理，提高控制系統(tǒng)分辨率。
納米位移電容傳感器的典型應(yīng)用
01.納米位移傳感器用于光刻機(jī)曝光鏡頭微調(diào)整系統(tǒng)
納米位移傳感器可用于光刻機(jī)的核心部件—曝光鏡頭的位置調(diào)整。
02.納米位移傳感器用于機(jī)床主軸位置調(diào)整
機(jī)床主軸的轉(zhuǎn)速可高達(dá)6000r/min。即使主軸上有微米級(jí)別的圓度差異，也會(huì)在被加工的材料上留下輕微劃傷，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。為了提高質(zhì)量，有必要對(duì)主軸進(jìn)行圓度測(cè)量，三英精控的電容式位移傳感器可以滿足圓度測(cè)量的要求。
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