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應用案例 | 鼎竑離子減薄儀GU-AI9000減薄氧化鋁陶瓷

來源:廣州領拓儀器科技有限公司    2024年06月17日 15:55  

陶瓷材料是指用天然或合成化合物經(jīng)過成形和高溫燒結制成的一類無機非金屬材料。氧化鋁陶瓷主要組成物為Al?O?,一般含量大于45%。氧化鋁陶瓷具有各種優(yōu)良的性能。用途廣泛,可用作坩堝、發(fā)動機火花塞、高溫耐火材料、熱電偶套管、密封環(huán)等,也可作刀具和模具。但在利用透射電鏡觀察氧化鋁陶瓷的晶粒形貌時,陶瓷的脆性和硬度給制樣帶來了一定的困難,而離子減薄對比機械減薄、超薄切片等方法可以有效避免樣品破碎,因此本文采用離子減薄儀對氧化鋁陶瓷進行透射電鏡制樣。





實驗過程




圖片


本文使用了鼎竑離子減薄儀GU-AI9000對氧化鋁陶瓷進行減薄。



減薄參數(shù):


01

電壓:7kv

電流:0.4mA

減薄時間:2.5h

設定灰度值:235

破孔值:6

樣品與離子槍角度:12°


樣品前處理


02

將直徑約10 mm的氧化鋁陶瓷片使用機械沖鉆成3 mm直徑的圓片,過程中盡量穩(wěn)定防止破碎,后使用不同的砂紙和拋光布進行機械研磨拋光,使其減薄至20 µm。氧化鋁陶瓷片經(jīng)過機械減薄后的示意圖如圖1。


圖片

圖1 機械減薄后示意圖


結果與討論:


03
01
減薄后陶瓷片低倍電鏡圖

陶瓷片經(jīng)過減薄后的低倍電鏡圖,如圖2。

圖片
圖片

圖2 陶瓷片低倍電鏡圖


經(jīng)過觀察,陶瓷片穿孔區(qū)域周圍存在小于200納米的薄區(qū)可以被透射電鏡電子束穿透觀察。

02
減薄后陶瓷片高倍電鏡圖

減薄后的陶瓷片高倍透射電鏡圖,如圖3

圖片
圖片

圖3 陶瓷片高倍透射電鏡圖


圖片可以清晰觀察氧化鋁陶瓷片的晶粒形貌,襯度明顯,可以說明陶瓷片減薄成功。





結論




本文利用鼎竑離子減薄儀GU-AI9000對氧化鋁陶瓷進行了減薄。該儀器可以高質(zhì)量完成對氧化鋁陶瓷片的減薄,使其擁有足夠的薄區(qū)上透射電鏡拍攝,滿足對氧化鋁陶瓷減薄的要求。同時該方法參數(shù)也可對其他材料樣品減薄提供參考。































你好開學季

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