技術(shù)亮點：

1、旋片泵+羅茨泵串聯(lián)（極限真空≤0.1Pa）；

2、干式螺桿泵（無油防污染）替代傳統(tǒng)油泵；

3、智能梯度抽速控制（匹配升華/解吸階段水汽負荷）。

三、加熱系統(tǒng)：能量供給站

技術(shù)亮點：

1、硅油循環(huán)加熱（最主流，20~80℃±0.5℃）；

2、輻射/微波輔助加熱（新興技術(shù)）；

3、多區(qū)段PID算法動態(tài)調(diào)溫（按共晶點曲線精準控制）。

四、控制系統(tǒng)：全流程大腦

功能：實現(xiàn)工藝編程、實時監(jiān)測、數(shù)據(jù)追溯與安全預(yù)警，滿足GMP要求（21 CFR Part 11）。

1、PLC/DCS+工業(yè)PC架構(gòu)；

2、存儲千條工藝曲線，集成AI故障預(yù)判；

3、對接MES系統(tǒng)，支持云端管理與遠程監(jiān)控。

五、在線自動清洗（CIP）：防交叉污染

功能：自動化化學清洗內(nèi)表面，消除人工污染風險。

1、酸/堿儲罐+旋轉(zhuǎn)噴淋球（覆蓋率＞95%）；

2、“預(yù)沖-堿洗-酸洗-終沖”五步法+湍流設(shè)計（Re＞3000）；

3、電導(dǎo)率/濁度儀監(jiān)測清洗終點。

六、在線蒸汽滅菌（SIP）：無菌保障

功能：飽和蒸汽（121~134℃）殺滅微生物（含芽孢），確保無菌環(huán)境。

1、脈動真空滅菌（排冷空氣，溫度均勻±1℃）；

2、蒸汽質(zhì)量監(jiān)控（過熱水除冷凝水）；

3、泄漏率測試（壓降≤0.13kPa/min）+生物指示劑驗證（嗜熱脂肪芽孢桿菌）。

七、安全保障系統(tǒng)：人機與工藝防護

功能：覆蓋電氣、機械、工藝全維度安全。

1、門聯(lián)鎖（未閉合禁啟真空/加熱）、急停按鈕、壓力釋放閥；

2、溫度/壓力超限報警、真空泄漏預(yù)警；

3、可選防爆設(shè)計（適配易燃溶劑場景）。

八、壓蓋系統(tǒng)：密封終端環(huán)節(jié)

功能：真空環(huán)境下完成西林瓶膠塞壓合，保障無菌屏障。

1、液壓/伺服/氣動壓蓋（伺服精度高）；

2、視覺定位（CCD糾偏）、軟著陸控制（防碎屑）；

3、可選氦質(zhì)譜檢漏（漏率≤1×10??mbar·L/s）。