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ACCRETECH東京精密紫外激光切割機(jī)的工作原理是什么

來(lái)源:玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司    2025年12月02日 09:43  

ACCRETECH(東京精密)紫外激光切割機(jī),是一種基于 “冷加工” 原理的精密加工設(shè)備。它的核心是利用高能量密度的紫外激光,直接破壞材料的分子鍵,從而在極小熱影響下實(shí)現(xiàn)微米級(jí)精度的切割。

?? 核心工作原理

它和傳統(tǒng)利用熱量熔化的紅外激光不同,其工作本質(zhì)是 “光化學(xué)裂解” 。355nm波長(zhǎng)的紫外激光光子能量很高,可以直接打斷如聚酰亞胺等材料內(nèi)部的分子化學(xué)鍵。材料吸收激光能量后,表層會(huì)瞬間“升華”(直接由固態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)),從而被移除。由于能量幾乎不會(huì)轉(zhuǎn)化為熱量向周邊傳遞,因此熱影響區(qū)極小,切口光滑、無(wú)碳化,真正實(shí)現(xiàn)了“冷加工”。

?? 關(guān)鍵系統(tǒng)組成

實(shí)現(xiàn)這一高精度加工,依賴于光、機(jī)、電、軟的高度集成,主要包括以下系統(tǒng):

  1. 紫外激光發(fā)生系統(tǒng):核心是全固態(tài)紫外激光器(如采用Nd:YVO4晶體),能穩(wěn)定產(chǎn)生355nm的紫外激光,其功率、脈沖頻率和脈寬直接決定加工能力。

  2. 精密光束傳輸與控制系統(tǒng)

    • 擴(kuò)束鏡:準(zhǔn)直并擴(kuò)大激光束。

    • 高速掃描振鏡:核心運(yùn)動(dòng)部件,通過(guò)兩塊高速偏轉(zhuǎn)的鏡片,精確控制激光束在加工面上的運(yùn)動(dòng)軌跡,速度可達(dá)每秒數(shù)米。

    • 遠(yuǎn)心透鏡:確保激光束在整個(gè)加工范圍內(nèi)垂直入射且聚焦光斑大小一致,是實(shí)現(xiàn)大面積、高精度均勻加工的關(guān)鍵。

  3. 視覺(jué)定位與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

    • 視覺(jué)定位系統(tǒng)(CCD):通過(guò)高分辨率攝像頭自動(dòng)識(shí)別工件上的標(biāo)記點(diǎn),修正裝夾誤差,實(shí)現(xiàn)高精度套刻,這是全自動(dòng)化的基礎(chǔ)。

    • 高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái):通常采用大理石基座的直線電機(jī)工作臺(tái),定位精度可達(dá)微米級(jí)(如±2μm),提供穩(wěn)定、無(wú)振動(dòng)的加工基準(zhǔn)

  4. 智能控制與軟件系統(tǒng):由工控機(jī)統(tǒng)一協(xié)調(diào),軟件支持導(dǎo)入標(biāo)準(zhǔn)圖紙文件(如Gerber、DXF),將圖形路徑轉(zhuǎn)化為控制指令,并集成加工參數(shù)庫(kù),實(shí)現(xiàn)一鍵式操作。

  5. 輔助系統(tǒng):包括水冷系統(tǒng)為激光器散熱,以及抽塵系統(tǒng)及時(shí)清除加工產(chǎn)生的微粒和廢氣。

? 技術(shù)優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用

基于以上原理和設(shè)計(jì),它相比傳統(tǒng)加工方式(如模具沖切)或紅外激光,優(yōu)勢(shì)非常顯著:

特性維度紫外激光切割機(jī) (如ACCRETECH)傳統(tǒng)紅外激光 / 機(jī)械加工
加工原理“冷加工”/光化學(xué)裂解熱熔化/物理接觸或沖壓
熱影響極小,幾乎無(wú)碳化較大,易產(chǎn)生熱變形、熔渣
加工精度,聚焦光斑可達(dá)10μm以下,切縫窄精度較低,受刀具磨損等影響
加工柔性強(qiáng),軟件驅(qū)動(dòng),可加工任意復(fù)雜圖形,無(wú)需模具差,依賴特定模具,改型成本高、周期長(zhǎng)
適用材料廣泛,尤其擅長(zhǎng)高分子、脆性材料受限,對(duì)硬脆材料加工困難

主要應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體與微電子:晶圓、硅片、陶瓷封裝基板的劃片與切割。

  • 柔性電路板(FPC/PCB):外形切割、覆蓋膜開窗、鉆孔、軟硬結(jié)合板揭蓋。

  • 其他精密制造:玻璃、藍(lán)寶石、超薄金屬、醫(yī)療器件的微細(xì)加工。

總的來(lái)說(shuō),ACCRETECH紫外激光切割機(jī)通過(guò)“冷加工”原理,并結(jié)合高精度振鏡掃描、視覺(jué)定位和直線電機(jī)平臺(tái)三大技術(shù)支柱,實(shí)現(xiàn)了對(duì)精密材料的超精細(xì)、低損傷加工,是制造業(yè)中的關(guān)鍵裝備。


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