泰勒粗糙度輪廓儀Intra Touch
泰勒霍普森Intra Touch粗糙輪廓儀是英國泰勒霍普森公司推出的新一代表面形貌測量設(shè)備,集成了接觸式與非接觸式測量技術(shù)優(yōu)勢,專用于精密制造、半導(dǎo)體及科研領(lǐng)域的納米級表面粗糙度與輪廓分析。其核心特點(diǎn)包括:
多傳感器融合設(shè)計:通過觸針與光學(xué)干涉儀同步采集數(shù)據(jù),兼顧高分辨率輪廓跟蹤與無損三維形貌重建;
智能溫控系統(tǒng):有效抑制環(huán)境熱漂移,確保在±0.1°C波動下仍保持測量穩(wěn)定性;
自動化操作平臺:搭載自定義編程模塊,支持批量檢測與數(shù)據(jù)追溯,提升工業(yè)場景效率。
技術(shù)突破與應(yīng)用場景
超低力接觸模式:探針測量力可調(diào)節(jié)至0.1mN以下,避免軟質(zhì)材料(如聚合物、光學(xué)涂層)表面損傷;
實(shí)時動態(tài)補(bǔ)償算法:主動校正設(shè)備振動與樣本傾斜,在惡劣工況下仍實(shí)現(xiàn)≤10nm的重復(fù)性精度;
跨行業(yè)適配性:
航空航天:渦輪葉片涂層粗糙度質(zhì)量控制;
生物醫(yī)學(xué):人工關(guān)節(jié)表面拋光工藝驗(yàn)證;
電子制造:晶圓電路線寬輪廓監(jiān)測。
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