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SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空計,如何重塑高精度真空測量

來源:巖瀨自動化機械設備(武漢)有限公司    2025年12月11日 17:00  

SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空計是一款具備高精度、寬測量范圍及多功能擴展性的進口真空測量設備,適用于半導體制造、科研實驗、工業(yè)生產(chǎn)等對真空度要求嚴苛的場景。以下是對該產(chǎn)品的詳細介紹:

一、產(chǎn)品概述

SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空計是一款數(shù)字型真空測量儀器,采用熱傳導原理進行真空壓力測量。其核心部件包括金屬圓筒內(nèi)部的白金細線,通過測量氣體分子碰撞白金細線導致的熱量變化,實現(xiàn)真空壓力的精確測

二、產(chǎn)品特點

1、寬測量范圍:PG-D5A型號具備6個量程自動切換功能,測量范圍從1×10?Pa(接近大氣壓)至1.3×10?1Pa,覆蓋了從大氣壓到高真空的廣泛測量需求。

2、高精度測量:采用熱傳導原理和溫度補償技術,有效減少了環(huán)境溫度變化對測量精度的影響,確保讀數(shù)的準確性。

3、數(shù)字與條形圖雙重顯示:數(shù)字顯示精確數(shù)值,條形圖直觀展示壓力趨勢,便于用戶快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)。

4、多功能擴展性:配備通信功能和BNC輸出等擴展功能,可用于各種控制、FA系統(tǒng)等多種用途。同時支持6點繼電器接點輸出,用戶可自由分配設定點,滿足不同應用場景的需求。

5、易于安裝與集成:采用標準化測頭設計,安裝φ15mm測頭口,便于集成到各種真空系統(tǒng)中。緊湊的尺寸設計(144×220×96mm)和輕量化(1.8kg)便于安裝和搬運。

三、多元化應用領域

1、半導體制造:在濺射、CVD、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)中,精確的真空控制是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關鍵。PG-D5A皮拉尼真空計用于監(jiān)控這些工藝過程中的真空度,確保工藝條件穩(wěn)定可靠。

2、科研實驗:在表面物理、核能、航天等研究領域,皮拉尼真空計提供精確的真空測量,為科學研究提供可靠數(shù)據(jù)支持。

3、工業(yè)生產(chǎn):在真空冶金、機械工業(yè)等領域,PG-D5A適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設備的測量,提供快速、可靠的真空度監(jiān)測。

4、其他領域:在醫(yī)療衛(wèi)生、化工領域,特別是冷凍干燥、滅菌工藝中,PG-D5A用于監(jiān)控工藝過程中的真空度,確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝重現(xiàn)性。與此同時在能源領域和航空航天行業(yè)中,真空技術對產(chǎn)品性能和可靠性至關重要,PG-D5A皮拉尼真空計在這些領域提供必要的測量保障。

四、技術規(guī)格

1. 測量范圍:1×10?~1.3×10?1Pa(6個量程自動切換)

2. 壓力單位:Pa

3. 控制輸出:6點繼電器接點輸出(AC110V,0.5A,阻性負載)

4. 記錄儀輸出:全量程DC5V/10V切換

5. 電源電壓:AC100V~240V±10%,50Hz/60Hz,30VA

6. 尺寸:144×220×96mm

7. 質(zhì)量:1.8kg

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