單晶硅納米力學性能的測試主要通過?納米壓痕技術?進行，這是一種通過在試樣表面施加逐漸增大的載荷，使試樣經(jīng)歷彈性變形、延性變形直至脆性斷裂的過程，并記錄加載-卸載曲線，從而獲取材料的硬度、彈性模量等關鍵力學參數(shù)的方法。

單晶硅納米力學性能測試機基本原理：

在單晶硅表面施加漸進載荷，通過金剛石壓頭（如Vickers型）壓入材料表面，記錄載荷-位移曲線（加載-卸載曲線）。

壓入過程分為三個階段：彈性變形 → 塑性變形 → 脆性斷裂。通過分析曲線斜率、壓痕深度等數(shù)據(jù)，計算硬度（Hardness） 和 彈性模量（Elastic Modulus）。

單晶硅納米力學性能測試機技術參數(shù)：

1.  產(chǎn)品規(guī)格：   MX-0230

2． 精度等級：   0.5級

3． 負荷：1N/5N/10N/20N/50N/100N/200N/ 500N(任選或多選）

4． 有效測力范圍：0.1/100-100;

5． 試驗力分辨率，負荷±500000碼；內外不分檔，且全程分辨率不變。

6. 位移分辨率：0.0001mm

7.  變形分辨率：0.0001mm

8． 有效試驗寬度：120mm

9． 有效試驗空間：300mm

10． 試驗速度：0.001~300mm/min(任意調)

11.  速度精度：示值的±0.5%以內；

12．位移測量精度：示值的±0.5%以內；

13．變形測量精度：示值的±0.5%以內；

14．應力控速率范圍： 0.005%～6％FS/S

15．應力控速率精度： 速率＜0.05％FS/S時，為設定值的±1%以內；速率≥0.05％FS/S時，為設定值的±0.5%以內；

16．應變控速率范圍： 0.002%～6％FS/S

17．應變控速率精度： 速率＜0.05％FS/S時，為設定值的±2%以內；速率≥0.05％FS/S時，為設定值的±0.5%以內；

18. 恒力/位移/變形測量范圍：0.5％～100FS

19．恒力/位移/變形測量精度：設定值＜10％FS時, 為設定值的±1%以內； 設定值≥10％FS時, 為設定值的±0.1%以內；

20．試臺升降裝置：快/慢兩種速度控制，可點動；

21．試臺安全裝置：電子限位保護

22．試臺返回：手動可以高速度返回試驗初始位置，自動可在試驗結束后自動返回；

23．試驗定時間自動停車,試驗定變形自動停車,試驗定負荷自動停車

24．超載保護：超過大負荷10%時自動保護；

25. 自動診斷功能，定時對測量系統(tǒng)、驅動系統(tǒng)進行過載、過壓、過流、超負荷等檢查，出現(xiàn)異常情況立即進行保護

26．電源功率： 200W     

27．主機重量： 40kg

28. 電源電壓:  220V（單相）

29. 主機尺寸：430*315*855mm