1. 校準(zhǔn)前準(zhǔn)備

• 環(huán)境條件：在溫度、濕度、振動(dòng)受控的計(jì)量室內(nèi)進(jìn)行（通常溫度20±1℃，濕度<60%）。

• 儀器預(yù)熱：開機(jī)預(yù)熱30分鐘以上，使系統(tǒng)穩(wěn)定。

• 清潔檢查：檢查測(cè)頭、測(cè)量桿、工作臺(tái)面是否清潔無損傷。

• 標(biāo)準(zhǔn)器準(zhǔn)備：

• 量塊（如0級(jí)或K級(jí)）：用于高度示值校準(zhǔn)。

• 平面平晶：用于檢查測(cè)頭平面度。

• 激光干涉儀（高精度校準(zhǔn)可選）。

2. 校準(zhǔn)項(xiàng)目與方法

（1）零位校準(zhǔn)

• 在基準(zhǔn)平面（如大理石平臺(tái)）上，使用測(cè)高儀測(cè)頭接觸基準(zhǔn)面，設(shè)置零點(diǎn)。

• 重復(fù)多次，檢查零位重復(fù)性。

（2）示值誤差校準(zhǔn)

• 步距法：用量塊作為標(biāo)準(zhǔn)高度，從低到高選擇多個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)（如10mm、50mm、100mm、200mm等）。

• 將量塊置于平臺(tái)，測(cè)高儀測(cè)頭接觸量塊上表面，記錄示值。

• 計(jì)算公式：
  $\text{誤差}=\text{測(cè)高儀示值}?\text{量塊標(biāo)稱值}$

• 全程校準(zhǔn)至少選5-10個(gè)點(diǎn)，覆蓋測(cè)量范圍。

（3）重復(fù)性校準(zhǔn)

• 在同一高度（如用量塊）重復(fù)測(cè)量10次，計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)偏差。

（4）測(cè)頭平行度與垂直度檢查

• 使用角尺或自準(zhǔn)直儀檢查測(cè)桿與平臺(tái)垂直度。

• 用平面平晶檢查測(cè)頭測(cè)量面的平面度。

3. 數(shù)據(jù)處理與判定

• 根據(jù)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)計(jì)算：

• 示值誤差：是否在允許范圍內(nèi)（參考儀器規(guī)格書，如±(1.5+L/100) μm）。

• 重復(fù)性：通常要求≤1/3允許誤差。

• 生成校準(zhǔn)記錄或證書，必要時(shí)進(jìn)行修正。

4. 注意事項(xiàng)

• 操作時(shí)輕拿輕放，避免碰撞測(cè)頭。

• 量塊需恒溫以減少熱膨脹誤差。

• 電子測(cè)高儀需注意電子細(xì)分誤差，定期校準(zhǔn)內(nèi)置傳感器。

• 氣浮式測(cè)高儀需檢查氣源穩(wěn)定性。

5. 標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)

• 國(guó)內(nèi)：JJF（機(jī)械）或JJG（計(jì)量檢定規(guī)程）。

• 國(guó)際：ISO 10360系列（坐標(biāo)測(cè)量機(jī)標(biāo)準(zhǔn)，部分適用于測(cè)高儀）。

• 廠家標(biāo)準(zhǔn)：如馬爾（Mahr）提供的校準(zhǔn)規(guī)范。

如果需要更具體的操作參數(shù)或針對(duì)特定型號(hào)（如Mahr Millitast、Maxum等），請(qǐng)?zhí)峁﹥x器型號(hào)，以便進(jìn)一步說明