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定制172nm紫外輻照計(jì),賦能準(zhǔn)分子燈精密制造與應(yīng)用

來源:深圳市業(yè)冠儀器設(shè)備有限公司    2026年01月29日 10:43  

準(zhǔn)分子燈是一種以準(zhǔn)分子氣體為發(fā)光介質(zhì)的真空紫外/深紫外光源,通過高壓放電激發(fā)特定混合氣體(如氙、氪、氬與鹵素的組合)形成不穩(wěn)定的準(zhǔn)分子,準(zhǔn)分子衰變時(shí)會(huì)釋放出單一波長(zhǎng)的高強(qiáng)度紫外光子。它的核心特點(diǎn)是波長(zhǎng)單一且可精準(zhǔn)調(diào)控(常見波長(zhǎng)包含172nm、222nm、308nm等),光子能量高,能實(shí)現(xiàn)裂解化學(xué)鍵、殺菌消毒、表面改性等特殊功能,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、精密清洗、醫(yī)療光療、環(huán)保降解等領(lǐng)域。

圖1 

在半導(dǎo)體光刻、材料表面改性、深紫外光清洗及高效臭氧生成等領(lǐng)域,172納米(nm)波段的真空紫外線正扮演著越來越關(guān)鍵的角色。然而,長(zhǎng)期以來,一個(gè)核心痛點(diǎn)制約著該技術(shù)的精準(zhǔn)化與產(chǎn)業(yè)化發(fā)展:如何對(duì)172nm這一特殊且挑戰(zhàn)性的波長(zhǎng)進(jìn)行準(zhǔn)確、可靠且便捷的功率測(cè)量?

近日,速德瑞成功交付了一臺(tái)為客戶深度定制的172nm專用紫外輻照計(jì)。這不僅是速德瑞在深紫外測(cè)量領(lǐng)域技術(shù)實(shí)力的又一次飛躍,更是對(duì)準(zhǔn)分子燈全產(chǎn)業(yè)鏈,從光源研發(fā)、生產(chǎn)校準(zhǔn)到終端應(yīng)用的一次重磅賦能。

圖2 

速德瑞此次交付的定制款172nm輻照計(jì),為解決用戶需求而設(shè)計(jì):

l 核心光學(xué)系統(tǒng):確保172nm光高效、無損耗地傳輸至探測(cè)器。

l專屬探測(cè)與濾波:精密濾光片,僅對(duì)172nm附近波段具有高響應(yīng)度,有效屏蔽其他波長(zhǎng)干擾。

l堅(jiān)固與便攜性:儀器結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,兼顧實(shí)驗(yàn)室的精準(zhǔn)與工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的耐用需求,搭配直觀的觸摸屏和數(shù)據(jù)記錄功能。

 

這臺(tái)專業(yè)的測(cè)量?jī)x器,將成為推動(dòng)準(zhǔn)分子燈技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵“標(biāo)尺”:

1.對(duì)準(zhǔn)分子燈制造商:

l研發(fā)優(yōu)化:精確測(cè)量172nm數(shù)據(jù)并輸出,加速新品研發(fā)與性能優(yōu)化。

l  生產(chǎn)質(zhì)檢:實(shí)現(xiàn)出廠產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)化功率檢測(cè),建立質(zhì)量信譽(yù),提升產(chǎn)品附加值。

l壽命測(cè)試:客觀監(jiān)測(cè)燈源在長(zhǎng)期運(yùn)行中的光衰情況,為壽命評(píng)估提供核心數(shù)據(jù)。

2.對(duì)下游應(yīng)用客戶:

l工藝控制:在紫外光清洗、光氧化等應(yīng)用中,精確控制輻照劑量,是保證清洗效果或反應(yīng)程度一致性的關(guān)鍵。

l 設(shè)備維護(hù):定期監(jiān)測(cè)燈管輸出,預(yù)測(cè)性更換燈源,避免因光源衰減導(dǎo)致的工藝失敗或產(chǎn)品批量缺陷。

l  工藝開發(fā):為新材料、新工藝的研發(fā)提供可量化、可復(fù)現(xiàn)的光源參數(shù),縮短研發(fā)周期。

圖3 

此次172nm紫外輻照計(jì)的成功交付,并非偶然。它源于速德瑞在紫外、可見、紅外全光譜測(cè)量領(lǐng)域長(zhǎng)達(dá)十余年的技術(shù)積淀,以及對(duì)客戶個(gè)性化需求的深刻理解。從常見的UVA、UVB、UVC波段測(cè)量,到如今的172nm真空紫外極限挑戰(zhàn),速德瑞始終致力于為科研與工業(yè)客戶提供可靠的“光之度量衡”。

我們相信,精準(zhǔn)的測(cè)量是制造的基礎(chǔ)。速德瑞將持續(xù)聚焦紫外測(cè)量技術(shù)的深耕與創(chuàng)新,針對(duì)更多特殊波長(zhǎng)、特殊場(chǎng)景的測(cè)量需求,提供從核心傳感器到完整檢測(cè)系統(tǒng)的定制化服務(wù),助力前沿制造產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)更高精度、更穩(wěn)定可靠的工藝控制。

如需進(jìn)一步了解定制化測(cè)量方案,歡迎隨時(shí)聯(lián)系我們。


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