一、核心參數(shù)

二、核心優(yōu)勢

1. 低顆粒低噪：無金屬滑動部件，微小開度壓力穩(wěn)定，運(yùn)行噪音極低，適配潔凈制程。

2. 高密封性：內(nèi)外泄漏量極低，滿足真空 / 微壓、高潔凈度系統(tǒng)要求。

3. 精準(zhǔn)控制：電機(jī)直連無背隙，全關(guān)閉狀態(tài)下可實(shí)現(xiàn)流量微調(diào)，壓力調(diào)節(jié)精度高。

4. 結(jié)構(gòu)可靠：SUS304 閥體 + 氟橡膠密封，耐溫耐腐，適配半導(dǎo)體腔體、真空爐、光伏設(shè)備等場景。

三、應(yīng)用與采購要點(diǎn)

1. 適配場景：半導(dǎo)體腔體排氣、PECVD/CVD 工藝壓力穩(wěn)定、真空系統(tǒng)流導(dǎo)調(diào)節(jié)、光伏設(shè)備氣體控制。

2. 維護(hù)建議：定期檢查氟橡膠密封件老化，保持驅(qū)動部清潔干燥，避免超溫 / 超壓使用。

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2026.2.5