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玉崎代理介紹EBARA（荏原）EV-S200N干式真空泵
EV?S200N 是日本 EBARA（荏原）EV?S 系列的高效多級(jí)干式真空泵，國(guó)內(nèi)長(zhǎng)期正規(guī)銷(xiāo)售。
一、核心參數(shù)（EV?S200N）
品牌：日本 EBARA（荏原）
型號(hào)：EV?S200N（N 為標(biāo)準(zhǔn)型，P 為防腐型）
類(lèi)型：多級(jí)羅茨式干式真空泵（無(wú)油）
抽氣速率：20,000 L/min（≈333 L/s）
極限壓力：0.5 Pa
電機(jī)功率：約 15 kW
材質(zhì)：標(biāo)準(zhǔn)型（N），無(wú)氮?dú)獯祾?/span>；防腐型（P）帶吹掃
控制：標(biāo)配 LCD 可編程控制器，支持預(yù)警與診斷
干式真空泵 主要應(yīng)用領(lǐng)域
1. 半導(dǎo)體 / 微電子（最核心）
刻蝕、PVD/CVD 鍍膜、離子注入
晶圓工藝、Loadlock 預(yù)抽
光刻機(jī)、檢測(cè)設(shè)備
2. 平板顯示 / 光伏
OLED/LCD 面板鍍膜、成膜
太陽(yáng)能電池片鍍膜、工藝腔體真空
3. 科研實(shí)驗(yàn)室
電子顯微鏡（SEM/TEM）
真空烘箱、脫泡、檢漏
薄膜制備、材料分析
4. 真空鍍膜行業(yè)
光學(xué)鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜
卷繞鍍膜、磁控濺射
5. 醫(yī)療 / 生物醫(yī)藥
真空冷凍干燥
滅菌設(shè)備、負(fù)壓系統(tǒng)
分析儀器、質(zhì)譜儀
6. 化工 / 新材料
蒸餾、濃縮、干燥
反應(yīng)釜、脫氣、回收
鋰電池極片烘干、注液前脫氣
7. 食品包裝
真空包裝、充氮包裝
肉類(lèi)、熟食、電子元件防潮包裝
8. 電子元器件
電容、電阻、連接器封裝
除氣、灌封、檢漏
相關(guān)產(chǎn)品
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