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NAPSON EC-80P 非接觸式渦流電阻/電阻率測量儀 的產(chǎn)品規(guī)格說明書
?? 1. 產(chǎn)品概覽
產(chǎn)品名稱：EC-80P Non-Contact Type (非接觸式)
測量原理：渦流法 (Eddy Current method)
啟動方式：探頭接觸樣品自動開始測量
測量模式：提供三種模式，分別為晶圓電阻率、體電阻率和薄層電阻（Sheet Resistance）。
?? 2. 測量范圍與探頭類型
該設備的測量范圍取決于所選的探頭類型，具體參數(shù)如下表所示：
| 參數(shù) | 低阻探頭 | 中阻探頭 | 高阻探頭 | 超高阻探頭 | 太陽能晶圓探頭 |
|---|---|---|---|---|---|
| 電阻率 (Ω.cm) | 0.001 - 0.05 | 0.05 - 0.5 | 0.5 - 60.0 | 60.0 - 200.0 | 0.2 - 15.0 |
| 薄層電阻 (Ω/Sq) | 0.01 - 0.5 | 0.5 - 10.0 | 10.0 - 1k | 1k - 3k | 5 - 500 |
?? 3. 適用材料與操作
適用材料：
半導體與光伏：硅 (Silicon)、多晶硅、碳化硅 (SiC) 等。
功能材料：碳納米管、DLC（類金剛石碳）、石墨烯、銀納米線等。
導電薄膜：金屬、ITO（氧化銦錫）等。
化合物半導體：砷化鎵外延 (GaAs Epi)、氮化鎵外延 (GaN Epi)、磷化銦 (InP) 等。
操作特點：通過 JOG 旋鈕 即可輕松設置測量條件。
該設備專為半導體及光伏行業(yè)設計，通過非接觸式渦流技術實現(xiàn)對多種導電材料的快速電阻率檢測，覆蓋了從低阻到超高阻的廣泛測量需求。
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