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國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心在松江成立
2025年11月06日 11:46:19
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：宋池 點擊量：3884
10月30日，國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心在上海松江揭牌。該中心由同濟大學(xué)牽頭籌建，通過自主建立的納米計量技術(shù)與標準，為國產(chǎn)芯片制造提供精準計量支持，以提升產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控能力。
10月30日，國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心在上海松江正式揭牌成立。該中心由同濟大學(xué)牽頭，聯(lián)合張江實驗室共同籌建，旨在聚焦集成電路微納檢測設(shè)備的國產(chǎn)替代計量測試需求，提升芯片產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控能力與產(chǎn)業(yè)韌性。
中心將立足松江，服務(wù)輻射長三角地區(qū)，致力于為國產(chǎn)集成電路精密儀器儀表廠商提供覆蓋“全產(chǎn)業(yè)鏈、全壽命周期、全溯源鏈”并具備前瞻性研究能力的“三全一前”計量技術(shù)服務(wù)。
據(jù)了解，集成電路制造對測量精度要求極高。以7納米芯片制造為例，需要測量的精度達到約0.1納米，相當于頭發(fā)絲直徑的十萬分之一，而計量精度要求更高，需優(yōu)于0.01納米。在芯片制造過程中，如果計量標準不準確，將直接影響產(chǎn)品合格率。
該中心主要致力于解決集成電路領(lǐng)域計量測試技術(shù)的自主創(chuàng)新問題?；诹孔踊饩Ц癯?shù)技術(shù)，中心開發(fā)了新的計量方法和儀器，研制了包括納米級角度標準物質(zhì)在內(nèi)的多項國家一級標準物質(zhì)，并建立了新的納米計量體系。中心將提供覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈、全壽命周期和全溯源鏈的計量技術(shù)服務(wù)，同時開展前瞻性研究。中心負責(zé)人表示，將著力構(gòu)建集成電路產(chǎn)業(yè)專用自溯源納米長度計量技術(shù)體系。
中心的建設(shè)得到了多方支持。同濟大學(xué)長三角G60科創(chuàng)走廊研究院作為孵化平臺，在項目落地過程中發(fā)揮了重要作用。松江區(qū)相關(guān)部門在政策、資金和場地等方面提供了配套支持。
目前，該中心產(chǎn)業(yè)化公司籌建工作已同步啟動。未來，中心將圍繞松江區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，通過多種合作方式推動技術(shù)創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)化。
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