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預(yù)算近9000萬！中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所采購意向
2025年11月21日 11:57:08
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：3488
中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所發(fā)布多項儀器采購意向，預(yù)算金額8815萬元。
近期，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所發(fā)布多項儀器采購意向，預(yù)算金額8815萬元。涉及儀器設(shè)備包括材料反應(yīng)離子刻蝕單元、晶圓光刻機、晶圓涂膠顯影機、磁控濺射PVD、等離子去膠機、晶圓激光解鍵合機、高溫管式爐等。預(yù)計采購時間2025年10月至12月。
采購意向只是政府采購的初步安排，具體采購情況以中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所發(fā)布的采購公告和采購文件為準，有意向的企業(yè)可持續(xù)關(guān)注該單位發(fā)布的招標信息。
| 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所采購意向 | ||||
| 序號 | 采購需求概況 | 數(shù)量 | 預(yù)算金額（萬元） | 采購時間 |
| 1 | 材料反應(yīng)離子刻蝕單元 | 1 | 450 | 12 |
| 2 | 晶圓光刻機 | 1 | 1100 | 11 |
| 3 | 晶圓涂膠顯影機 | 1 | 500 | |
| 4 | 磁控濺射PVD | 1 | 1800 | |
| 5 | 等離子去膠機 | 1 | 300 | |
| 6 | 晶圓激光解鍵合機 | 1 | 500 | |
| 7 | 高溫管式爐 | 1 | 250 | |
| 8 | 晶圓清洗機 | 1 | 500 | |
| 9 | 晶圓干法深硅刻蝕機 | 1 | 600 | |
| 10 | MEMS晶圓雙面對準與光刻系統(tǒng) | 1 | 450 | |
| 11 | 高垂直度深硅刻蝕機 | 1 | 350 | |
| 12 | 低應(yīng)力等離子體增強介質(zhì)沉積機臺 | 1 | 250 | |
| 13 | 硅材料外延單元采購 | 1 | 865 | 10 |
| 14 | 高厚度低阻抗金屬材料制備單元 | 1 | 900 | |
| 來源：中國政府采購網(wǎng) | ||||
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