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二十載深耕光譜領(lǐng)域，上海美譜達(dá)以“專而精”堅(jiān)[詳細(xì)]
攻克“貼片”工藝 原子力顯微鏡探針國產(chǎn)化邁出關(guān)鍵一步
2025年12月29日 10:48:25
來源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：1321
近日，淄博探微納米科技有限責(zé)任公司的創(chuàng)新成果——《一種高精度AFM探針貼片對(duì)準(zhǔn)放置裝置》獲得國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的實(shí)用新型專利證書。這項(xiàng)技術(shù)攻克了快速定位探針生產(chǎn)中的對(duì)準(zhǔn)貼裝工藝難題。
原子力顯微鏡(AFM)探針是其核心部件，探針通過“摸索”樣品表面來獲取信息。當(dāng)探針接近樣品時(shí)，針尖與表面原子之間的相互作用力會(huì)導(dǎo)致懸臂發(fā)生偏轉(zhuǎn)。通過激光反射系統(tǒng)或光學(xué)干涉技術(shù)檢測(cè)懸臂的形變程度，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，最終生成樣品的高分辨率表面圖像。
就在近日，淄博探微納米科技有限責(zé)任公司(以下簡稱“探微納米”)的創(chuàng)新成果——《一種高精度AFM探針貼片對(duì)準(zhǔn)放置裝置》獲得國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的實(shí)用新型專利證書。這項(xiàng)技術(shù)攻克了快速定位探針生產(chǎn)中的對(duì)準(zhǔn)貼裝工藝難題，標(biāo)志著我國在該類產(chǎn)品全流程國產(chǎn)化道路上取得了實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。
將微米級(jí)懸臂梁和納米級(jí)針尖的AFM探針精準(zhǔn)貼裝到特定基座，這一技術(shù)長期被國外壟斷。為打破壟斷，此次探微納米通過創(chuàng)新的MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，成功解決了在微納米尺度下探針芯片與基座的對(duì)準(zhǔn)難題。據(jù)悉，這項(xiàng)專利技術(shù)的核心突破主要體現(xiàn)在兩個(gè)方面：
一是在超高對(duì)準(zhǔn)精度方面，該裝置顯著提升了貼片位置的一致性，解決了微納米尺度下的精準(zhǔn)對(duì)位問題。
二是在工藝穩(wěn)定性與效率上，該技術(shù)極大減少了人為操作帶來的不確定性，保證了產(chǎn)品的高良率與長期可靠性的同時(shí)，也提升了生產(chǎn)效率。
該技術(shù)突破，標(biāo)志著AFM探針國產(chǎn)化邁出了關(guān)鍵一步。未來，隨著AFM探針國產(chǎn)化的加速推進(jìn)，有望帶動(dòng)上下游產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，進(jìn)一步推動(dòng)生物研究、半導(dǎo)體工業(yè)、材料科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域的研究與應(yīng)用邁向新的高度。
素材來源：科技日?qǐng)?bào)
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