AOP 厚度測量系統(tǒng)-Solarius
- 公司名稱 上海曼戈斐光學(xué)技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號 AOP
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2018/12/21 16:00:14
- 訪問次數(shù) 2192
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|
為了讓厚度量測數(shù)據(jù)清晰而又精確,一種使用良好技術(shù)的雙傳感器測厚系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生。
Solarius研發(fā)的厚度測量系統(tǒng)使用兩個(gè)上下精確對位的非接觸式傳感器。這種測量方式快速準(zhǔn)確,允許從上下兩側(cè)同時(shí)測量樣品的一層或多層的厚度。系統(tǒng)工作時(shí),樣品上下兩側(cè)同步量測,這樣來自上下兩種傳感器的測量值差異將生成最終的厚度數(shù)據(jù)。
快速且精確的厚度檢測
模塊化設(shè)計(jì)
高效率大面積檢測
靈活且易于自動化
可定制的人機(jī)交互式界面
定制化分析
非接觸式無損測量
AOP厚度測量系統(tǒng)配備一套納米級精度的XY運(yùn)動平臺,該平臺測量范圍高達(dá)400mmx400mm。兩個(gè)對稱安裝的高速點(diǎn)或線傳感器,其高度測量范圍從2mm到145mm,分辨率從0.2um到5um。Solarius SolarScan軟件提供自動測量功能以及定制化程序模板;模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)為定制化分析軟件提供了較大程度的靈活性。



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