EX2自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測(cè)量原理，針對(duì)納米薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測(cè)量型教學(xué)儀器。

EX2 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀適用于納米薄膜的厚度測(cè)量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測(cè)量。

EX2 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀還可用于同時(shí)測(cè)量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點(diǎn)

• 經(jīng)典消光法橢偏測(cè)量原理

  儀器采用消光法橢偏測(cè)量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測(cè)量基本原理和過程。

• 方便安全的樣品水平放置方式

  采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

• 緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

  集成一體化設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)潔的儀器外形通過USB接口與計(jì)算機(jī)相連，方便使用。

• 高準(zhǔn)確性的激光光源

  采用激光作為探測(cè)光波，測(cè)量波長(zhǎng)準(zhǔn)確度高。

• 豐富實(shí)用的樣品測(cè)量功能

  可測(cè)量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復(fù)折射率、樣品反射率、樣品透過率。