F50 Filmetrics 光學(xué)膜厚測量儀自動化MAPPING
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 F50
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/24 14:25:46
- 訪問次數(shù) 6694
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 | 波長范圍 | 190nm-1340nm |
| 光源 | 鎢鹵素?zé)?、氘?/td> | 厚度測量范圍 | 5nm-2mm |
| 測量精度 | 0.02nm | 光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米 |
| 樣品臺尺寸 | 1-300mm |
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀產(chǎn)品介紹：
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀依靠光譜測量系統(tǒng)，可以簡單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺，可以快速的定位所需測試的點(diǎn)并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀配置精度高使用壽命長的移動平臺，以求能夠做成千上萬次測量。
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀產(chǎn)品優(yōu)勢：
自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
測繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀測量原理：
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀常見工業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體膜層 | 顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀產(chǎn)品參數(shù)：
波長范圍： | 190nm-1340nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)簟㈦疅?/span> |
厚度測量范圍： | 5nm-2mm | 測量精度： | 0.02nm |
光斑大?。?/span> | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米 | 樣品臺尺寸： | 1-300mm |
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Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀測量圖：
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