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Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE

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公司名稱 上海爾迪儀器科技有限公司
品牌 Bruker/布魯克
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2025/9/8 7:48:13
訪問次數(shù) 3528

產(chǎn)品標(biāo)簽

Bruker 橢偏儀

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公司介紹 主營產(chǎn)品

上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經(jīng)銷國內(nèi)外儀器的專業(yè)公司。在制藥、化工、環(huán)保、科研、大學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域開拓了廣泛的市場，并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發(fā)展中，將貫徹誠信、服務(wù)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新的經(jīng)營理念，一如既往地把國內(nèi)外優(yōu)秀的儀器設(shè)備介紹并提供給國內(nèi)的用戶。孜孜追求，不懈努力，不斷提高服務(wù)水平，為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻(xiàn)各自的綿薄之力，與廣大用戶共同享受科技成果，在互利協(xié)作中共同進(jìn)步。

展開

YAMATO,bruker,Diener,Kashiyama

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

測量速度	2min	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
單次測量時(shí)間	2s	光斑尺寸	50 µmmm
光譜范圍	190 nm - 1700 nmnm	膜厚測量準(zhǔn)確度	±1.0至NIST可追溯標(biāo)準(zhǔn)氧化物100至兩個(gè)1µmnm
應(yīng)用領(lǐng)域	石油,電子/電池,綜合	光源	調(diào)節(jié)氘鹵素?zé)?/td>

Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE

——用于IC器件開發(fā)和制造的先進(jìn)多模薄膜計(jì)量學(xué)

Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE

FilmTek™ 6000標(biāo)準(zhǔn)桿數(shù)-SE先進(jìn)的多模薄膜計(jì)量系統(tǒng)在1x nm設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)和更高的位置為廣泛的薄膜層提供生產(chǎn)驗(yàn)證的薄膜厚度、折射率和應(yīng)力測量監(jiān)測。該系統(tǒng)能夠在新一代集成電路的生產(chǎn)過程中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的過程控制，提高器件產(chǎn)量，并支持下一代節(jié)點(diǎn)技術(shù)的開發(fā)。

制造1x nm的先進(jìn)IC器件需要使用高度均勻的復(fù)合膜。能夠監(jiān)測非常薄的薄膜的計(jì)量工具，通常在多層膜堆疊中（例如，高k和氧化物-氮化物-氧化物膜），使制造商能夠保持對(duì)膜構(gòu)建過程的嚴(yán)格控制。此外，一些工藝，如多重圖案化，會(huì)導(dǎo)致薄膜厚度的梯度，必須對(duì)其進(jìn)行監(jiān)控，以獲得佳器件性能（例如，注入損傷和低k薄膜）。不幸的是，現(xiàn)有的計(jì)量工具依賴于傳統(tǒng)的橢偏測量或反射測量技術(shù)，其檢測這些應(yīng)用的薄膜梯度變化的能力有限。

為了克服這些挑戰(zhàn)，F(xiàn)ilmTek 6000標(biāo)準(zhǔn)桿數(shù)-SE將光譜橢圓偏振儀和DUV多角度極化反射儀與寬光譜范圍相結(jié)合，以滿足與多圖案和其他前沿器件制造技術(shù)相關(guān)的需求。該系統(tǒng)采用我們多角度差分偏振（MADP）和差分功率譜密度（DPSD）技術(shù)，可獨(dú)立測量薄膜厚度和折射率，顯著提高其對(duì)薄膜變化的靈敏度，尤其是多層堆疊中的變化。這種組合方法對(duì)于用于復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的超薄和厚膜疊層都是理想的。