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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>白光干涉測厚儀> SR-Mapping反射膜厚儀

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SR-Mapping反射膜厚儀

參考價250000-350000/臺
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 武漢頤光科技有限公司
  • 品牌頤光科技
  • 型號
  • 所在地武漢市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2026/2/28 10:29:15
  • 訪問次數(shù) 3892
產(chǎn)品標(biāo)簽

膜厚儀顯微膜厚儀膜厚測量

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武漢頤光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd.)是國內(nèi)專業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測量設(shè)備研發(fā)、制造與銷售的高新技術(shù)企業(yè),公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測量經(jīng)驗的專家聯(lián)合創(chuàng)辦,與華中科技大學(xué)緊密合作,是國內(nèi)橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢的技術(shù)團隊。

       公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū),立足光谷,面向全球,為科研和工業(yè)用戶提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。

       產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。

光譜橢偏儀,反射膜厚儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,航空航天,電氣

一、概述

      SR-Mapping 反射膜厚儀系列利用反射干涉的原理進行無損測量,通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,同時搭配R-Theta位移臺,兼容6到12寸樣品,可以對整個樣品進行快速掃描,快速準(zhǔn)確測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息,并對于膜厚均勻性做出評價。


光學(xué)薄膜測量解決方案

■ 非接觸、非破壞測量;

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析;

■ 膜厚重復(fù)性測量精度:0.02nm

■ 全自動測量,測量點數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯


采用高強度鹵素?zé)艄庠?,光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍;

SR-Mapping反射膜厚儀

■ 采用光機電高度整合一體化設(shè)計,體積小,操作簡便;

SR-Mapping反射膜厚儀

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,輕松解析單層薄膜到多層;


SR-Mapping反射膜厚儀

配置強大核心分析算法:FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息;

SR-Mapping反射膜厚儀


三、產(chǎn)品應(yīng)用

廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。

SR-Mapping反射膜厚儀

SR-Mapping反射膜厚儀


技術(shù)參數(shù)

SR-Mapping反射膜厚儀







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