一、產(chǎn)品概述：

智能型多功能橢偏儀是一種高精度的光學測量儀器，用于分析薄膜材料的光學特性和厚度。該儀器結合了橢偏技術和智能化控制系統(tǒng)，能夠提供實時測量和數(shù)據(jù)分析，廣泛應用于半導體、光電材料和表面科學等領域。

Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學梯度及各向異性等）。

二、設備用途/原理：

·設備用途

智能型多功能橢偏儀主要用于測量薄膜的折射率、消光系數(shù)和厚度，適用于各種薄膜材料的研究，包括氧化物、氮化物和有機材料。它在半導體制造、光學涂層開發(fā)和材料表征等方面發(fā)揮著重要作用，幫助工程師和研究人員優(yōu)化材料性能。

·工作原理

橢偏儀的工作原理基于光的偏振狀態(tài)變化。當偏振光照射到樣品表面時，反射光的偏振狀態(tài)會發(fā)生變化，這種變化與材料的光學性質及薄膜厚度相關。智能型橢偏儀通過檢測反射光的偏振狀態(tài)，利用數(shù)學模型分析光學參數(shù)。通過智能化的軟件系統(tǒng)，儀器能夠自動進行測量、數(shù)據(jù)處理和結果分析，提高了測試的效率和準確性。

三、主要技術指標：

1. Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學梯度及各向異性等）

2. 光譜范圍：450nm to 1000nm

3. 光譜分辨率：優(yōu)于3nm

4. 光源：鹵素燈和藍光LED

5. 測試時間：小于1到10

6. 光斑尺寸:

   75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

   100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

   250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

   500µm*500µm

7. 入射角：450 to 900 ，步徑50

8. 樣品尺寸：200mm以內

9. 樣品準直：手動調整樣品臺高度（17mm以內）和傾角

10. 空氣對射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

11. 厚度準確性：0.04%

12. 厚度重復性：±0.02%

13. 可選附件：

      全自動量角器，入射角度從450 到900可調，步徑0.010

      可通過法蘭耦合在反應腔實現(xiàn)在線監(jiān)測

      冷熱臺，液體樣品池和電化學反應池

      十字星自準直系統(tǒng)