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MDPmap-1 MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀

參考價	￥ 1000000
訂貨量	≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 束蘊儀器（上海）有限公司
品牌 Freiberg Instruments
型號 MDPmap-1
產(chǎn)地德國
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2025/11/4 10:31:27
訪問次數(shù) 3065

產(chǎn)品標簽

少子壽命少子壽命測試儀單晶少子壽命測試儀單晶多晶硅片測試儀硅片少子壽命測量儀

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公司介紹 主營產(chǎn)品

束蘊儀器（上海）有限公司自成立以來，憑借與德國布魯克（BRUKER）、國際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實驗室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作，迅速成為業(yè)界儀器供應商。

我們擁有一支積極樂觀，正直誠信的年輕團隊，我們熱忱的信仰科學，相信科學技術能為我們的客戶帶來質(zhì)量較高的生活，為社會的進步起到積極的促進作用。

束蘊儀器為各類客戶提供完善的實驗室和工業(yè)檢測儀器及過程控制設備，專業(yè)的應用支持及完善的售后服務，在中國大陸的諸多領域擁有大量用戶，如高校、科研院所、航空航天、國家機關、檢驗機構及工業(yè)企業(yè)，產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業(yè)。公司的宗旨：為客戶量身打造適合的綜合解決方案，技術支持和現(xiàn)場服務，系統(tǒng)高效的客戶培訓，快速及時的售后服務。

束蘊儀器，讓世界更清晰！

主營儀器設備：

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀（ESR/EPR）、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權代理商

--PDF衍射數(shù)據(jù)庫、JADE軟件--國際衍射數(shù)據(jù)中心（ICDD)授權代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權代理商

單位名稱：束蘊儀器（上海）有限公司

詳細地址：上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號樓602室

展開

MicroCT，顯微CT，微焦點CT，骨骼成像，顯微CT材料學檢測，微納顯微CT,X射線斷層掃描，TOC,元素檢測

詳細信息 在線詢價

MDPmap：

單晶和多晶硅片壽命測量設備用于復雜的材料研究和開發(fā)。

特點：

◇ 靈敏度：高的靈敏度，用于可視化迄今為止不可見的缺陷和調(diào)查外延層的情況

◇ 測量速度：6英寸硅片<5min，分辨率為1mm

◇ 壽命范圍：20ns到幾十ms

◇ 污染測定：源于坩堝和設備的金屬（鐵）污染

◇ 測量能力：從切割好的硅片到加工的樣品

◇ 靈活性：固定的測量頭可以與外部激光器連接并觸發(fā)

◇ 可靠性：模塊化和緊湊型臺式儀器，可靠性更高，正常運行時間>99%

◇ 重復性：> 99%

◇ 電阻率：電阻率測繪，無需頻繁校準

技術規(guī)格:

樣品尺寸	直徑達300mm（標準臺），直徑達450mm（定制），*小為5 x 5mm
壽命測量范圍	20ns至幾十ms以上
電阻率	0.2 - >103Ω·cm，p-型/n-型
樣品材料	硅片、外延層、部分或加工的硅片、化合物半導體及更多材料
可測量的特性	壽命 - μ-PCD/MDP (QSS), 光導率
激發(fā)波長	選擇從355nm到1480nm的*多四個不同波長。980nm(默認)
尺寸規(guī)格	體積：680 x 380 x 450毫米；重量：約65公斤
電源	100 - 250V, 50/60 Hz, 5 A

MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀 - 細節(jié)：

◇ 用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活測繪工具

◇ MDPmap被設計成一個緊湊的臺式非接觸電學表征工具，用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵（μ-PCD）下，在一個寬的注入范圍內(nèi)測量參數(shù)，如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數(shù)設置允許輕松適應各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。

◇ MDPmap的主要優(yōu)點是它的高度靈活性，例如，它允許集成多達四個激光器，用于測量從較低到高的注入水平的壽命，或通過使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設施，以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項?？梢杂貌煌牡貓D進行客戶定義的計算，也可以輸出主要數(shù)據(jù)進行進一步評估。對于標準的計量任務，預定義的標準只需按下一個按鈕就能進行常規(guī)測量。

附加選項：

◇ 光斑大小的變化

◇ 電阻率測量（晶圓）

◇ 方塊電阻

◇ 背景/偏光

◇ 反射測量（MDP）

◇ 太陽能電池的LBIC（擴散長度測量）

◇ 偏壓MDP

◇ 參考晶圓

◇ 硅的內(nèi)部/外部鐵制圖

◇ 集成加熱臺

◇ 靈活的激光器配置

MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀 - 測量案例：


鈍化多晶硅的壽命圖	多晶硅的鐵污染圖

單晶硅的硼氧圖	單晶硅的缺陷密度圖

碳化硅外延片（＞10μm）-少數(shù)載流子壽命mapping圖（平均壽命τ=0.36μs）

高阻硅片（＞10000Ω·cm）-少數(shù)載流子壽命mapping圖

非鈍化硅外延片（20μm）-少數(shù)載流子壽命mapping圖