反射式膜厚儀 QUASAR-R100系列

反射式膜厚儀 QUASAR-R100 是一款體積小巧的光譜反射式膜厚、折射率等測量儀器，操作簡單，極易上手，應(yīng)用廣泛，快速準(zhǔn)確的提供各種薄膜厚度的測量，如氧化物、氮化物、多晶硅、非晶硅、聚酰亞胺、透明導(dǎo)電層、光刻膠等介質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜以及各種涂層。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、LED、OLED、液晶、聚合物鍍膜及科研實驗室鍍膜等領(lǐng)域。反射式膜厚儀QUASAR-R100軟件還擁有豐富的的材料數(shù)據(jù)庫?？蛻暨€可以通過軟件及自帶數(shù)據(jù)庫對材料，菜單進(jìn)行管理，并具有豐富的數(shù)據(jù)查看、統(tǒng)計功能。

反射式膜厚儀 QUASAR-R100產(chǎn)品的特點

~多參數(shù)測量

可測量材料厚度、折射率（Refractive Index）、 消光系數(shù)（Extinction Coefficient）和反射率。

~各種形狀樣品測量

可測量例如4~8英寸的晶圓、方形樣品或其他各種不規(guī)則形狀樣品。

~軟件功能豐富

友善的用戶界面以及靈活豐富的軟件功能，各種豐富的數(shù)據(jù)分析及查看功能。

~簡單、易用

測量流程簡單，用戶極易上手建立測量程式。

反射式膜厚儀 QUASAR-R100應(yīng)用的領(lǐng)域

~半導(dǎo)體鍍膜

~光刻膠
~抗反膜測量
~藍(lán)寶石鍍膜
~ITO 玻璃

~液晶面板鍍膜
~太陽能鍍膜
~汽車硬度層厚度
~其他介質(zhì)膜厚度

反射式膜厚儀 QUASAR-R100 產(chǎn)品的參數(shù)規(guī)格

★Si基底上對厚度約500nm的SiO₂薄膜樣品連續(xù)測量30次數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差

~產(chǎn)品的定制功能

• 可根據(jù)客戶需求搭配自動運動平臺

• 可根據(jù)客戶需求配置小光斑