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晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品牌 ZOLIX/卓立漢光
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/7/10 15:23:09
  • 訪問次數(shù) 1966

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北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)技術(shù)于一體的高*技術(shù)企業(yè)。卓立漢光自1999年起,通過數(shù)年的不斷努力,成長為光電儀器廠商之一。目前公司的電控位移臺、手動(dòng)位移臺、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,國內(nèi)多家科研單位、激光加工設(shè)備廠商、光纖設(shè)備廠商在使用我們的產(chǎn)品。2000年推出我司套量產(chǎn)型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測器光譜響應(yīng)、太陽能電池檢測等光譜測量系統(tǒng),廣泛應(yīng)用在眾多高校和科研院所的研究與試驗(yàn),為國家科技創(chuàng)新貢獻(xiàn)了一份力量,產(chǎn)品憑借優(yōu)良的品質(zhì)遠(yuǎn)銷歐美、東南亞等海外市場。 2005年10月在同行業(yè)中通過ISO9001質(zhì)量管理體系SGS認(rèn)證。2010年取得國家高*技術(shù)企業(yè)認(rèn)定,2016年卓立漢光技術(shù)中心順利通過市級技術(shù)中心評審。

 

卓立漢光主要生產(chǎn)經(jīng)營:熒光/拉曼光譜系統(tǒng)、各類光譜測量系統(tǒng)、太陽能電池檢測儀器、光柵光譜儀、各類型光源及探測器、電控精密位移臺、手動(dòng)精密位移臺、光學(xué)調(diào)整架、光學(xué)平臺、光學(xué)元件等系列產(chǎn)品。


我們誠心聆聽用戶的需要與批評,作為不斷改進(jìn)的動(dòng)力,能讓您滿意卓立漢光的產(chǎn)品及服務(wù),就是我們的成就。因此我們以卓立漢光的光機(jī)產(chǎn)品提供 “終身保固”的承諾,來表達(dá)我們對產(chǎn)品的信心。


我們堅(jiān)持從設(shè)計(jì)、零件選型、制造、裝配、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸、直到售后服務(wù)做好*質(zhì)量保證,就是要讓您 “付有所值”,以合理的價(jià)位得到優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,這是我們對您選擇卓立漢光真誠的回報(bào)。

卓立漢光始終以滿足用戶需求為宗旨,分別于上海、深圳、成都、西安設(shè)立分公司,為用戶提供及時(shí)周到的銷售與技術(shù)服務(wù)。“研發(fā)創(chuàng)新、快速反應(yīng)、優(yōu)質(zhì)服務(wù)” 是我們的經(jīng)營理念, 公司長期重視優(yōu)質(zhì)高效、短時(shí)間為客戶開發(fā)產(chǎn)品及提供技術(shù)支持。卓立漢光真誠地希望與國內(nèi)外同仁攜手合作,為推動(dòng)我國光電產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

 

 

 

光譜儀,拉曼光譜,熒光光譜,太陽能電池檢測,位移臺,滑臺,光學(xué)調(diào)整架,電動(dòng)滑臺,光學(xué)平臺,光學(xué)元件

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

Wide-field Fluorescence Microscope Module

  • 晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組以自動(dòng)化顯微鏡模組為基礎(chǔ),針對 SiC 等化合物半導(dǎo)體晶圓位錯(cuò)、層錯(cuò)等缺陷檢測需求。

  • 無須化學(xué)腐蝕、解理等樣品前處理工藝,非接觸、無損、整晶圓檢測。

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

產(chǎn)品特性和核心技術(shù):

激光自動(dòng)聚焦。

  • 自主研制的激光輔助離焦量傳感器。

  • 可在紫外激發(fā)光照射樣品并采集熒光信號的同時(shí)工作,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚焦和表面跟蹤。

紫外暗場照明。

  • 標(biāo)配波長 275 nm 紫外激發(fā)光,可按用戶要求定制其它波長激發(fā)光。

  • 可同位采集明場顯微像、可見光波段暗場熒光像、紅外波段暗場熒光像,分析樣品中位錯(cuò)、層錯(cuò)等。

  • 晶格缺陷的分布。

全自動(dòng)操作。

  • 自動(dòng)化的控制軟件和數(shù)據(jù)處理軟件,全軟件操作。

相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn):

  • 《中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) GB_T 43493.3-2023 半導(dǎo)體器件 功率器件用碳化硅同質(zhì)外延片缺陷的無損檢測識別判據(jù) 第 3 部分:缺陷的光致發(fā)光檢測方法》(2023 年 12 月 28 日發(fā)布,2024 年7月1日實(shí)施)

性能參數(shù):

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

應(yīng)用案例:

6 英寸 SiC 外延片缺陷檢測

堆疊層錯(cuò)(SF)

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

基面位錯(cuò)(BPD)

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組




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