顯微反射膜厚儀 FT400
- 公司名稱 江蘇集萃中科先進(jìn)光電技術(shù)研究所有限公司
- 品牌 集萃中科光電
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/5/28 9:57:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 78
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
顯微反射膜厚儀 FT400描述：
利用光學(xué)干涉，采用微米級(jí)聚焦光斑，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍層、液晶顯示器、光學(xué)鍍層和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
顯微反射膜厚儀 FT400功能：
膜層厚度無(wú)損測(cè)量
避免傳統(tǒng)接觸式測(cè)量（如臺(tái)階儀）可能造成的劃傷或形變
支持微小區(qū)域測(cè)量
結(jié)合高倍率顯微物鏡和精密光路設(shè)計(jì)，將測(cè)量光斑聚焦至微米級(jí)。
支持測(cè)量區(qū)域光斑可視
避免盲測(cè)，提升測(cè)量重復(fù)性，尤其適用于不規(guī)則或異形樣品。
支持厚度均勻性測(cè)量
自動(dòng)移動(dòng)樣品臺(tái)，按網(wǎng)格或自定義路徑采集多點(diǎn)數(shù)據(jù)。
支持多種表面測(cè)量
如SiO?、光刻膠、PET薄膜，可通過(guò)多峰干涉解析各層厚度。
支持參數(shù)調(diào)整測(cè)量
用戶可保存不同材料的測(cè)量模板，提升批量檢測(cè)效率。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.高精度、高穩(wěn)定性無(wú)損測(cè)量。
2.支持小尺寸光斑定制。
3.可用于薄膜厚度均勻性測(cè)量，生成多點(diǎn)報(bào)表。
4.可測(cè)量高曲率樣品，在極小測(cè)量視場(chǎng)范圍場(chǎng)景同樣適用。
5.可測(cè)量表面粗糙樣品、帶圖形樣品，精準(zhǔn)定位待測(cè)區(qū)域。
6.光斑可視，搭配位移臺(tái)，使定位測(cè)量使用更便捷。
三視圖：
正視圖
側(cè)視圖
后視圖
正視圖
側(cè)視圖
后視圖
技術(shù)參數(shù)：
波長(zhǎng)范圍 | 400-850nm |
測(cè)量范圍（光學(xué)厚度） | 50nm-80μm |
測(cè)量重復(fù)性（RMS） | 0.4nm |
測(cè)量精度（與橢偏儀對(duì)比） | 2nm或0.4%（以較大值為準(zhǔn)） |
入射角度 | 90° |
光斑尺寸 | 40μm |
測(cè)量時(shí)間 | 4ms-100ms |
基片測(cè)量范圍 | 100mm，360° |
通信接口 | USB3.0 |
檢測(cè)案例：
PVA膜檢測(cè)
硅上鍍二氧化硅膜
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)