反射膜厚儀 FT100
- 公司名稱 江蘇集萃中科先進(jìn)光電技術(shù)研究所有限公司
- 品牌 集萃中科光電
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/5/28 9:57:02
- 訪問次數(shù) 136
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
反射膜厚儀 FT100描述：
緊湊型反射式膜厚儀測量系統(tǒng)，初學(xué)者也能輕松上手解析，單點(diǎn)對(duì)焦并測量耗時(shí)1秒內(nèi)完成，支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析。用于表征介質(zhì)保護(hù)膜、半導(dǎo)體薄膜、玻璃鍍膜等各種樣式薄膜膜厚的光學(xué)計(jì)量專業(yè)化工具。
反射膜厚儀 FT100功能：
膜層厚度無損測量
避免傳統(tǒng)接觸式測量（如臺(tái)階儀）可能造成的劃傷或形變。
支持單層、多層膜測量
通過干涉條紋間距或反射率極值點(diǎn)直接計(jì)算厚度。
便攜式設(shè)計(jì)
模塊化探頭，緊湊機(jī)身，產(chǎn)線快速抽檢。
支持平面曲面測量
通過可變?nèi)肷浣窃O(shè)計(jì)或曲面補(bǔ)償算法（如修正光程差），測量圓柱透鏡、球面鏡等。
可測多種狀態(tài)薄膜
如SiO?、光刻膠、PET薄膜，可通過多峰干涉解析各層厚度。
支持參數(shù)調(diào)整測量
用戶可保存不同材料的測量模板，提升批量檢測效率。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.高精度、高穩(wěn)定性
2.光學(xué)干涉方式，無損測量
3.多類解析算法，可精準(zhǔn)和估算測量，滿足不同測量需要
4.高速測量，絕大多數(shù)樣品可1s內(nèi)完成測量
5.軟件簡潔，測量一鍵操作，簡單易用
6.機(jī)型結(jié)構(gòu)小巧，輕質(zhì)化設(shè)計(jì)，便于攜帶
三視圖：
正視圖
側(cè)視圖
后視圖
正視圖
側(cè)視圖
后視圖
技術(shù)參數(shù)：
波長范圍 | 400-850nm |
測量范圍（光學(xué)厚度） | 50nm-80μm |
測量重復(fù)性（RMS） | 0.4nm |
測量精度（與橢偏儀對(duì)比） | 2nm或0.4%（以大值為準(zhǔn)） |
入射角度 | 90° |
光斑尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)1.5mm |
測量時(shí)間 | 4ms-100ms |
基片測量范圍 | 100mm，360° |
通信接口 | USB3.0 |
檢測案例：
PVA膜檢測
硅上鍍二氧化硅膜
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