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Microsense 電容式位移傳感器探頭

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


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膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機(jī),EVG光刻機(jī),HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天,汽車及零部件,電氣

什么是電容傳感器?

電容傳感器是一種通過測量兩個(gè)平行板之間線性位移來工作的裝置,其中一個(gè)板是傳感器本身,另一個(gè)板是傳感器所測量的物體——即目標(biāo)物。


典型的電容傳感系統(tǒng)


電容式位移傳感器探頭

- 電容探頭,也稱為“傳感器探頭”,是一種金屬或陶瓷外殼,內(nèi)部裝有電容傳感器,用于檢測目標(biāo)物體。
- 測量模塊,也稱為“測量電路板”,包含傳感器的驅(qū)動電子元件,并提供傳感器的模擬輸出信號。
- 測量電路板輸出的模擬信號通常連接至客戶計(jì)算機(jī)中的A/D(模數(shù))轉(zhuǎn)換卡。


傳感器構(gòu)造


如果沒有屏蔽環(huán)(保護(hù)電極),電場線可能會延伸到傳感器之外,并與其他接地表面或電場發(fā)生相互作用。通過使屏蔽環(huán)的電場與傳感器同相驅(qū)動,傳感器便只能與所需的目標(biāo)形成電場。


主動式與被動式電容傳感器

-被動式傳感器適用于大多數(shù)應(yīng)用場合。其探頭內(nèi)部不含驅(qū)動電子元件,因而具有出色的穩(wěn)定性和線性度。

-主動式傳感器在探頭內(nèi)包含特殊的驅(qū)動電路,專為需要高分辨率和高測量帶寬的“高動態(tài)”應(yīng)用而設(shè)計(jì)。


被動式電容探頭

電容式位移傳感器探頭

主動式電容探頭


定制探頭

探頭可以通過多種方式進(jìn)行定制
-根據(jù)客戶需求定制探頭尺寸或形狀
-帶斜面切割的探頭前端
-采用通孔式安裝而非夾持式安裝的探頭
-高穩(wěn)定性選項(xiàng)——可與4810型高穩(wěn)定性測量儀選件配套使用


特殊用途探頭

-陶瓷探頭適用于高穩(wěn)定性應(yīng)用場合
-在被動式探頭設(shè)計(jì)中可使用因瓦合金(Invar)以提高熱穩(wěn)定性
-針對晶圓接地不良的應(yīng)用場景,提供可“補(bǔ)償”的探頭選項(xiàng)

電容式位移傳感器探頭



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