磁控濺射儀
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/12/4 10:32:53
- 訪問(wèn)次數(shù) 198
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
磁控濺射儀:
襯底尺寸:4'為主,6'兼容。
濺射金屬膜厚均勻性要求:≤±5%。
靶位:4個(gè)。
極限壓力:<6.6×10-6e Pa。
靶材尺寸:3英寸。
可濺射磁性材料。
靶與樣品距離可調(diào),且可以在30度角度內(nèi)擺頭。
配置load-lock,可放置5片6英寸樣品,在高真空狀態(tài)下,由電動(dòng)馬達(dá)分別傳送每片樣品,順序?yàn)R射每片樣品,逐一完成5片濺射鍍膜。
樣品臺(tái)可加熱至750度,可旋轉(zhuǎn)。
全自動(dòng)真空度控制模塊。
磁控濺射儀:
氣路:Ar、O2、N2。
射頻電源:2個(gè),每個(gè)600W
直流電源:2個(gè),每個(gè)1000W
科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國(guó)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\(chéng)信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó),納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征、表面材料物性分析、生物藥物開(kāi)發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄海?jiàn)證中國(guó)科技水平的提升,與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng)。



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