珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司
基于熱重-紅外-氣質(zhì)聯(lián)用的光刻膠樣品成分分析
檢測樣品：光刻膠樣品
檢測項目：成分分析
方案概述：光刻膠是目前半導(dǎo)體行業(yè)重要的功能性材料。光刻膠可以根據(jù)其主要單體的類型進(jìn)行分類，對單體的識別可以快速判定其類型。除單體外，影響其應(yīng)用性質(zhì)的成分還包括溶劑、引發(fā)劑、光感劑等，通常來說這些成分會隨膠乳的應(yīng)用場景變化而有所調(diào)整。珀金埃爾默公司的熱重-紅外-氣質(zhì)聯(lián)用三聯(lián)機(jī)，可以針對這類稍復(fù)雜樣品進(jìn)行準(zhǔn)確的成分識別，從而評估其光化學(xué)特性及應(yīng)用場景，并針對一些逆向相關(guān)的工程應(yīng)用提供數(shù)據(jù)性的支持。
實(shí)驗(yàn)方案
●測試樣品：液體光刻膠樣品1份
●測試儀器：TGA8000-Frontier-Clarus690/SQ8T，聯(lián)用模塊為TL9000型號。全部儀器及聯(lián)用模塊來自于珀金埃爾默；
●測試條件：
樣品稱量方式及用量：使用10μL移液槍移取粘稠液體樣品，每次測試共移取3次，置于陶瓷增堝中。由于樣品粘度較大，實(shí)際取樣量小于30μL，樣品實(shí)際質(zhì)量由熱重確定。
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