珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司
珀金埃爾默半導(dǎo)體行業(yè)氯硅烷分析應(yīng)用文集
檢測(cè)樣品：氯硅烷
檢測(cè)項(xiàng)目：雜質(zhì) 組分 含量
方案概述：高純He中微量H2、O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定;高純H2中微量O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定;高純Ar中微量H2、N2、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定;高純N2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定;高純HCl中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定......
目 錄
高純He中微量H2、O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定
高純H2中微量O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定
高純Ar中微量H2、N2、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定
高純N2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定
高純HCl中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定
高純Cl2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質(zhì)的測(cè)定
工業(yè)用硅烷氣體中微量二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅雜質(zhì)的測(cè)定
氯硅烷工藝中回收氫和還原尾氣中氯硅烷組分的測(cè)定
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氯硅烷工藝回收氫氣中的O2和N2測(cè)定
三氯氫硅的組分測(cè)定氯硅烷中碳含量的測(cè)定
高純?nèi)形⒘侩s質(zhì)氣體檢測(cè)
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