表面輪廓測(cè)量?jī)xCE3014N-qvb

表面輪廓測(cè)量?jī)xCE3014N-qvb

測(cè)量功能 

尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑

夾角：包含水平角、垂直角、夾角

位置公差：包含平行度、垂直度

形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧

輪廓度輔助生成：包含輔助點(diǎn)、輔助線、輔助圓

測(cè)量范圍 

技術(shù)參數(shù)

注：1、H為的測(cè)量高度；2、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°；3、60°、90°的角度塊，角邊取樣長(zhǎng)度為5mm；4、λc為2.5mm，測(cè)量速度≤0.3mm/s，測(cè)量平晶；5、以上參數(shù)均在20℃±2℃，階梯溫度不超過2℃/h和地面振動(dòng)最大RMS＜50Hz  2.5μm/s  且 RMS＞50Hz   5.0μm/s的環(huán)境下測(cè)得。

儀器配置  

環(huán)境要求 

室內(nèi)周圍應(yīng)無影響測(cè)量的灰塵、振動(dòng)、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場(chǎng)

振源：地面震動(dòng)MAXRMS：  ＜50HZ   2.5μm/s  / ＞50HZ   5.0μm/s

電源：AC 220V±10%  50Hz   單獨(dú)地線

功率需求：500W

溫度：20±2℃   階梯溫度不超過1℃/h  

相對(duì)濕度：30%-60%（無凝露）