無塵室氣流流形檢測儀利用超聲霧化的原理，將DI水霧化成1-10微米左右的大量水滴，建立一個氣溶膠，于是在4-6磅的背壓下由風(fēng)扇吹出，可以顯示出潔凈室氣流組織狀態(tài)，發(fā)現(xiàn)湍流。水霧發(fā)生器可以滿足多方面的應(yīng)用，如100級及以上級別的凈化車間，這個小的，易用的工具可以僅僅使用DI水就可以顯示出在控制區(qū)域的氣流組織和湍流現(xiàn)象，噴霧輸出大約在60華氏度，單個風(fēng)扇吹出4CFM的霧量，持續(xù)約30分鐘，開關(guān)控制噴霧，100-10000級凈化車間用16兆歐DI水，1-10級凈化車間需要64兆歐的DI水。
校準(zhǔn)無塵室氣流流形檢測儀需遵循以下步驟：
校準(zhǔn)前準(zhǔn)備：
環(huán)境確認(rèn)：確保潔凈室處于正常運(yùn)行狀態(tài)，溫濕度穩(wěn)定，無強(qiáng)電磁干擾。
工具準(zhǔn)備：準(zhǔn)備標(biāo)準(zhǔn)氣體（零氣體和量程標(biāo)氣）、流量計(jì)、減壓閥等。
設(shè)備檢查：開機(jī)預(yù)熱，檢查傳感器壽命及電量。
校準(zhǔn)步驟：
零點(diǎn)校準(zhǔn)：
將檢測儀置于無目標(biāo)氣體環(huán)境（通入高純氮?dú)猓?/div>
調(diào)節(jié)流量至要求值。
進(jìn)入標(biāo)定模式，選擇“零點(diǎn)標(biāo)定”，待數(shù)值穩(wěn)定后確認(rèn)。
量程校準(zhǔn)：
通入標(biāo)準(zhǔn)氣體（如20.9% O?或已知濃度目標(biāo)氣體）。
調(diào)節(jié)流量至穩(wěn)定，進(jìn)入標(biāo)定模式，選擇“量程標(biāo)定”。
待讀數(shù)穩(wěn)定后確認(rèn)。
驗(yàn)證測試：
使用另一種濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體驗(yàn)證，誤差應(yīng)控制在±5%內(nèi)。
