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瑞士VAT-77.3 - 超高真空快速關(guān)閉擋板

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  • 2026-03-02 09:54:21
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瑞士VAT-77.3 - 超高真空快速關(guān)閉擋板
77.3 超高真空快速關(guān)閉擋板在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng),可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)(具體取決于擋板直徑)以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉擋板會(huì)幾乎立即將空氣涌入減少至 mbar l/s 級(jí)別。這為啟動(dòng)全金屬閥門留了時(shí)間,全金屬閥門用于殘留泄漏的密封。防止損壞是分秒必爭(zhēng)的,因此,77.3 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

【詳細(xì)說(shuō)明】

瑞士VAT-77.3 - 超高真空快速關(guān)閉擋板

對(duì)快速關(guān)閉擋板的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因空氣涌入造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失(尤其是加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大體量的損失),可能造成污染、組件損壞等嚴(yán)重問(wèn)題,并且需投入精力恢復(fù)所需真空水平。

77.3 超高真空快速關(guān)閉擋板在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng),可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)(具體取決于擋板直徑)以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉擋板會(huì)幾乎立即將空氣涌入減少至 mbar l/s 級(jí)別。這為啟動(dòng)全金屬閥門留了時(shí)間,全金屬閥門用于殘留泄漏的密封。防止損壞是分秒必爭(zhēng)的,因此,77.3 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。

77.3 系列作為槽擋板閥 (DN 40-160) 設(shè)計(jì),但 DN 40 版本帶有環(huán)形開(kāi)口而非槽型開(kāi)口。該系列為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 300℃,驅(qū)動(dòng)器為最高 50℃。閥蓋為金屬密封,饋通件以焊接金屬波紋管密封。

快速關(guān)閉閘板由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過(guò)定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài)、傳感器及其連接來(lái)確??焖訇P(guān)閉??刂破鞑捎媚K化設(shè)計(jì),可針對(duì)不同的擋板/傳感器布置進(jìn)行配置。檢測(cè)到空氣涌入時(shí),控制器啟動(dòng),同時(shí)快速關(guān)閉擋板也會(huì)啟動(dòng),這是一個(gè)在超高真空或高真空條件下密封的全金屬閥門。快速關(guān)閉擋板的狀態(tài)同樣通過(guò)該控制器提供,以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出。同理,擋板也可以通過(guò)控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

經(jīng)證明,77.3 超高真空快速關(guān)閉擋板系列可在各種工藝條件下的加速器和儲(chǔ)存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能,成為了超高真空和高真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。

77.3 超高真空快速關(guān)閉擋板的閥體材料為不銹鋼。標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 CF-F??蛻糁付ǚㄌm和特定槽尺寸可選。

該系列閥體的輻射抗性為 108 Gy,氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的輻射抗性為 104 Gy。

轉(zhuǎn)動(dòng)擋板的維護(hù)前標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間為 2000 次開(kāi)關(guān),槽擋板為 5000 次開(kāi)關(guān),這意味著該閥門系列在用于其目的時(shí)實(shí)際是免維護(hù)的。77.3 超高真空快速關(guān)閉擋板通常與全金屬閥門結(jié)合使用。

特點(diǎn):

  • 兼容超高真空和高真空部件

  • 快速的高真空保護(hù)關(guān)閉機(jī)制

  • 高度可靠

優(yōu)勢(shì):

  • 技術(shù)成熟

  • 實(shí)際免維護(hù)

  • 擁有成本較低

技術(shù)參數(shù):

尺寸
DN 40 (1?"), DN 63 (2?"), DN 100 (4"),
DN 160 (6")
驅(qū)動(dòng)器氣動(dòng)雙作用
閥體材料
不銹鋼
饋通件
波紋管
標(biāo)準(zhǔn)法蘭
CF-F
泄漏率閥體< 1 × 10-10 mbar ls-1
 閥座< 30 mbar ls-1
壓力范圍
超高真空至 1.2 bar(絕對(duì)壓強(qiáng))
維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù)開(kāi)槽擋板
轉(zhuǎn)動(dòng)擋板
5000次
2000次
烘烤溫度閥體≤ 300°C
 驅(qū)動(dòng)器≤ 50 °C
輻射抗性閥體
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器
108 Gy
104 Gy
材料閥體AISI 316L (1.4435, 1.4404)
 機(jī)構(gòu)AISI 304 (1.4301) (DN 40) 
AISI 316L (1.4435) (DN 63 – 160)
 閥板AISI 316L (1.4404)、鍍銀(開(kāi)槽擋板)
鈦(轉(zhuǎn)動(dòng)擋板)
  波紋管AISI 633 (AM 350)(開(kāi)槽擋板)
AISI 316L (1.4404)(轉(zhuǎn)動(dòng)擋板)
密封閥蓋金屬
安裝位置
閥座側(cè)(帶標(biāo)記)
與氣流涌動(dòng)方向相反

 

瑞士VAT-77.3 - 超高真空快速關(guān)閉擋板

商品編號(hào)77332-CE44商品編號(hào)77344-CE44商品編號(hào)77336-CE44商品編號(hào)77340-CE44

    
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