桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,尤其是實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備,雙靶直流磁控鍍膜儀采用旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái),可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。
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桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,尤其是實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備,雙靶直流磁控鍍膜儀采用旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái),可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。
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