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非接觸式電阻率測(cè)量?jī)x是如何測(cè)量的

2025-8-21  閱讀(384)

Napson非接觸式電阻率測(cè)量?jī)xEC-80P是一種采用渦電流原理進(jìn)行非接觸式電阻率測(cè)量的設(shè)備,適用于測(cè)量2-12寸晶圓,能夠測(cè)量Si, SiC, GaN, GaAs等低阻及高阻半導(dǎo)體材料。該設(shè)備通過(guò)脈沖電壓激勵(lì)方法作為測(cè)量原理,可以在不損壞樣品的情況下進(jìn)行測(cè)量。渦流法主要用于非接觸式測(cè)量,可測(cè)量1E-3(1m)至1E + 4(10k)Ω/□電阻范圍,適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體,液晶和新型碳基材料等廣泛領(lǐng)域的測(cè)量。此外,EC-80P便攜型非接觸電阻率量測(cè)儀可測(cè)量PN極性,并具有溫度補(bǔ)償功能,多個(gè)量程探頭可選



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