目錄:納糯三維科技(上海)有限公司Nanoscribe>>高精度微納米激光直寫系統(tǒng)>>Quantum X.>> Quantum X shape雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)
| 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 | 打印技術 | 基于雙光子聚合的逐層三維打印,具有體素調節(jié)能力的雙光子灰度光刻 |
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| 最小特征尺寸 | 100nm |
作為已被工業(yè)界認可的Nanoscribe公司推出的Quantum X平臺的二代加工系統(tǒng),Quantum X shape雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)在3D微納加工領域擁有驚人的高精度,比肩于Nanoscribe公司在表面結構應用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL ®)。全新的Quantum X shape的高精度有賴于其最高能力的體素調制比和超精細處理網(wǎng)格,從而實現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,受益于雙光子灰度光刻對體素的微調,該系統(tǒng)在表面微結構的制作上可達到超光滑,同時保持高精度的形狀控制。
Quantum X shape雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)不僅是應用于生物醫(yī)學、微光學、MEMS、微流道、表面工程學及其他很多領域中器件的快速原型制作的理想工具,同時也成為基于晶圓的小結構單元的批量生產(chǎn)的簡易工具。
通過系統(tǒng)集成觸控屏控制打印文件來大大提高實用性。通過系統(tǒng)自帶的nanoConnectX軟件來進行打印文件的遠程監(jiān)控及多用戶的使用配置,實現(xiàn)推動工業(yè)標準化及基于晶圓批量效率生產(chǎn)。
主要特征:
* 納米尺度打印:在任意空間方向上的特征尺度控制,可達100nm
* 超快體素控制和100nm處理網(wǎng)格的高速3D微納加工
* 振鏡軌道控制保證的最快掃描速度下的軌跡準確度
* 自動化自校準路徑保證的高精度激光能量控制及定位
* 可達6英寸基片和硅片的廣泛選擇
* 工業(yè)化批量生產(chǎn): 200個標準介觀尺度結構通宵產(chǎn)量
* 保證實用性和體驗感的觸控屏和遠程控制功能
* 快速原型制作,高精度,高設計自由度,簡易明了的工作流程
* 工業(yè)驗證的晶圓級批量生產(chǎn)
* 通用及專用的打印材料
* 兼容自主及第三方打印材料
