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| 供貨周期 | 一個(gè)月以上 |
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產(chǎn)品分類品牌分類
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DA215化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA200I化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA170化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA150L化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA120化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA100I化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA100L化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA85化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA70化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA60化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA50化油器發(fā)動(dòng)機(jī) DA35化油器發(fā)動(dòng)機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
線性ECR寬波束離子源
模塊化EC/L XXX離子源
關(guān)鍵的設(shè)計(jì)特性
基于簡(jiǎn)單、緊湊的微波耦合的無(wú)燈絲源
永磁體使用電子回旋共振(ECR)
法蘭安裝配置
功能陶瓷維護(hù)方便快捷
特殊的電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng)
優(yōu)勢(shì)
適用全惰性氣體、氧氣等活性氣體
柵網(wǎng)系統(tǒng)有不同的形狀和材料
長(zhǎng)達(dá)2米的工作模塊
少的維護(hù)和超長(zhǎng)壽命，維修周期超過(guò)300h
均勻離子流超過(guò)總長(zhǎng)度的百分之八十
尺寸/型號(hào)
技術(shù)規(guī)范
參數(shù) | EC/L800 |
類型 | 法蘭安裝射頻激勵(lì)離子源 多孔徑提取柵網(wǎng) |
源材料 | 放電管：Al2O3 柵網(wǎng)：C 微波天線的真空分離：二氧化硅杯 永磁體：NdFeB 外殼：不銹鋼 磁屏蔽：鍍鎳鋼 |
柵網(wǎng)類型 | 2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng) 2種不同焦距的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng) |
型號(hào) | 深度：標(biāo)準(zhǔn)104.5 mm 235 mm x 875 mm（無(wú)法蘭） |
重量 | 約80kg |
法蘭 | 帶O形密封圈的非標(biāo)準(zhǔn)矩形法蘭 340 mm x 975 mm |
微波電源 | 每個(gè)模塊在2.45 GHz時(shí)約125-400 W |
離子電流 | 1000 V（1.2 kW）時(shí)1200mA |
離子 | 100 到 1000 eV |
加速電壓 | 0 –1000 V |
過(guò)程氣體 | 惰性氣體，N2（無(wú)限制） O2和含鹵素氣體（柵極壽命縮短） |
氣流流量 | 40sccm，6 mm軟管的插入式接頭 |
冷卻水 | 1.5 l/min |
電連接 | 6 mm Swagelock |