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新品發(fā)布！kSA XRF在線X射線熒光膜厚測量儀

閱讀：2340        發(fā)布時(shí)間：2022/12/28
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近期我司推出最新產(chǎn)品，kSA XRF在線X射線熒光膜厚測量儀！對于膜層厚度太薄的金屬薄膜和介電薄膜，光學(xué)方法測量其厚度顯得不是很可靠。kSA XRF在線X射線熒光膜厚測量儀的推出主要就是為了解決該問題，它可以在線測量許多不同材料基底（例如：玻璃和太陽能電池組件）上的薄膜厚度。



設(shè)
備
詳
情


1.配備保護(hù)性定制框架外殼，放置 X 射線源和探測器。

2.該設(shè)備橋接了傳輸線，以便于設(shè)備安裝和工廠用戶對系統(tǒng)的訪問。

3.當(dāng) X 射線源正在使用時(shí)，會(huì)有警示燈閃爍提示。

4.配備面板的前/后邊緣光電檢測器，用于觸發(fā)設(shè)備自動(dòng)啟停。

5.柜式控制器提供數(shù)據(jù)處理及存儲功能。

6.配備小型燈塔用于指示檢測情況。



圖片

產(chǎn)
品
優(yōu)
勢


1.某些超薄的介電薄膜，光學(xué)方法難以測量其厚度，如低于100nm厚度薄膜；在這種情況下，kSA XRF可以很好地測量。
2.可在多種基板上測量金屬薄膜厚度。
3.實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集，檢測薄膜厚度缺陷并進(jìn)行在線反饋。
4.軟件功能可定制，用戶可以依據(jù)特定要求設(shè)置。
5.檢測過程中可對質(zhì)量控制進(jìn)行驗(yàn)證，以確保涂層厚度在公差范圍內(nèi)。
6.工廠集成功能：使工廠用戶能夠?qū)⒃O(shè)備整合到現(xiàn)有系統(tǒng)（如：工廠警報(bào)、PLC、電子郵件警報(bào)等）中。
7.操作便捷，幾乎不需要額外設(shè)置，只需操作員定期進(jìn)行設(shè)備校準(zhǔn)。



工
作
原
理


1.該系統(tǒng)由一個(gè)帶有高壓發(fā)生器的 X 射線管和一個(gè) X 射線探測器系統(tǒng)組成。
2.其 X 射線檢測系統(tǒng)組合了固態(tài)探測器、放大器、脈沖高度分析儀和多通道分析儀。
3.光譜儀能量校準(zhǔn)后，系統(tǒng)自動(dòng)識別 X 射線光譜峰值，并收集峰值強(qiáng)度以進(jìn)行進(jìn)一步處理。
4.該工具可根據(jù)客戶的薄膜配方和測量需求測量對應(yīng)的原子種類。




圖片


軟
件
功
能


1.使用專有的 k-Space 軟件測量，分析和存儲數(shù)據(jù)。
2.可與現(xiàn)有質(zhì)量控制系統(tǒng)對接通訊。
3.利用光電檢測器的觸發(fā)器啟動(dòng)和停止數(shù)據(jù)采集。
4.專為典型的玻璃和太陽能電池板輸送速度而設(shè)計(jì)。
5.全自動(dòng)化，能夠與工廠自動(dòng)化通信對接。
6.報(bào)警信號可便捷的自定義配置。
7.單個(gè)檢測頭可以放置在面板寬度上的任何位置，并且可選配使用多個(gè)檢測頭。
8.厚度測量范圍為 0~500 nm±1 nm，靈敏度和測量不確定度取決于被測元素。



軟
件
截
圖



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