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三維表面輪廓儀

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更新時(shí)間:2025/05/09 14:59:39瀏覽次數(shù):1276

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多功能 3D光學(xué)/三維表面輪廓儀( OPTELICS HYBRID+,三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡 ),高度方向測(cè)量精度達(dá)0.05nm;系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù);以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),集6項(xiàng)測(cè)試功能于一體,包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測(cè)量等功能。

詳細(xì)介紹

多功能 3D光學(xué)/三維表面輪廓儀 OPTELICS HYBRID+,三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡/三維表面輪廓儀 ),高度方向測(cè)量精度達(dá)0.05nm;系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù);以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),集6項(xiàng)測(cè)試功能于一體,包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測(cè)量等功能;通常多臺(tái)設(shè)備才能完成的測(cè)量,僅需一臺(tái)設(shè)備即可實(shí)現(xiàn),解決了需要使用多種工具的麻煩,滿足在各種測(cè)量場(chǎng)景中的測(cè)試需求。


  • 提供6個(gè)測(cè)試功能模塊,應(yīng)對(duì)多樣測(cè)量需求

  • 滿足行業(yè)測(cè)試規(guī)格要求,High精度

  • 提供多種測(cè)量和分析

  • 自動(dòng)化測(cè)量技術(shù),高效測(cè)量


適用于滿足多樣場(chǎng)景測(cè)試需求

3D 光學(xué)表面輪廓儀( 三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡 一個(gè)平臺(tái)提供6種測(cè)試功能:

     

三維表面輪廓儀


   

     

1. 白光共聚焦

寬視野+High精度測(cè)量

高清彩色觀察

三維表面輪廓儀



2. 激光共聚焦

高倍·High 分辨率觀察

搭載波長(zhǎng)405nm的紫色半導(dǎo)體激光,無(wú)需前處理,以可媲美電子顯微鏡的High分辨率,鮮明捕捉納米級(jí)細(xì)微構(gòu)造。

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3. 微分干涉測(cè)量

納米級(jí)凹凸觀察

共聚焦與微分干涉(DIC)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)細(xì)微凹凸形狀的可視化。由于焦點(diǎn)深度極低,對(duì)于透明樣品可以排除其背面的影響僅對(duì)表面進(jìn)行觀察。

三維表面輪廓儀



4. 垂直白光干涉測(cè)量

數(shù)毫米寬廣視野內(nèi)的納米級(jí)形狀測(cè)量

白光通過(guò)雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉波形,通過(guò)垂直方向掃描找到干涉光強(qiáng)度高點(diǎn),得到樣品的高度分布數(shù)據(jù)。原理上,高度分辨率不受物鏡放大倍數(shù)影響,因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測(cè)量。

三維表面輪廓儀



5. 反射分光膜厚測(cè)量

納米級(jí)透明膜厚測(cè)量

利用波長(zhǎng)切換功能對(duì)6個(gè)波長(zhǎng)的絕對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量,光學(xué)建模計(jì)算得到膜厚。數(shù)nm~1μm的單層/多層膜厚可測(cè)量。測(cè)量區(qū)域在共聚焦觀察圖像上定義,亞微米區(qū)域~全視野的數(shù)mm區(qū)域的平均膜厚均可測(cè)量。而且因各個(gè)像素(pixel)的膜厚能夠計(jì)測(cè),所以可以測(cè)量膜厚分布。

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6. 相差干涉測(cè)量

埃米級(jí)形狀測(cè)量

白光通過(guò)雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉條紋,與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關(guān)。在垂直方向細(xì)微移動(dòng)得到4組干涉圖像,通過(guò)解析實(shí)現(xiàn)高分辨率的高度分布測(cè)量。

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多種波長(zhǎng)切換

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測(cè)量速度快

3D 形貌測(cè)量共聚焦顯微鏡(HYBRID)實(shí)現(xiàn)了業(yè)界快速幀率(15Hz~120Hz)掃描,實(shí)現(xiàn)圖像拼接、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)缺陷檢測(cè)和快速測(cè)量。


High精度測(cè)量

三維形貌測(cè)量共聚焦顯微鏡(HYBRID)高度方向測(cè)量精度達(dá)0.05nm。


提供各種測(cè)量,分析和支持功能,具有可用性

LM eye是HYBRID的測(cè)量和分析軟件,提供多種功能,幫助您順利操作


測(cè)量和分析功能

可以測(cè)量和分析參數(shù),包括輪廓,粗糙度和薄膜厚度


三維表面輪廓儀


測(cè)量支持功能

HYBRID提供各種測(cè)量、分析


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自動(dòng)化操作,效率更高

LIBRA

LIBRA 是一個(gè)軟件程序,它使用定義的平臺(tái)執(zhí)行自動(dòng)測(cè)量。


三維表面輪廓儀


LM 檢測(cè)

LM Inspect 是一個(gè)軟件程序,可以自動(dòng)檢測(cè)基材上的小顆粒和缺陷。并且支持使用缺陷審查和深度學(xué)習(xí)進(jìn)行高精度缺陷分類。


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其他型號(hào)


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