目錄:上海波銘科學(xué)儀器有限公司>>光電探測(cè)系統(tǒng)>>顯微光電流>> LBIC-S1光電流 IV/IT/ 成像測(cè)試系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2025-12-01 09:35:46瀏覽次數(shù)：375評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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微納光電成像測(cè)試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段，通過(guò)不同波長(zhǎng)激光進(jìn)行探測(cè)，分析表征光電子器件的短路電流分布，表面缺陷， 反射率等參數(shù)。并通過(guò)掃描獲得的圖像，分析各種參數(shù)的平面均勻性，為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流，光電流信號(hào)通過(guò)探針引出至電流源表，再通過(guò)軟件讀出。掃描時(shí)，通過(guò)電動(dòng)位移臺(tái)的移動(dòng)，激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動(dòng)， 軟件記錄每一個(gè)激光聚焦光斑的位置和其對(duì)應(yīng)的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示了樣品的電流分布。
技術(shù)參數(shù)
| 激光器（光源） | 標(biāo)配532nm激光器，能量穩(wěn)定性1%@4小時(shí) |
| 顯微鏡模塊 | 反射式/透射式LED照明 物鏡：標(biāo)配（20X， WD=7.5mm） 超長(zhǎng)工作距離 最大掃描范圍：260 x 200 μm （20x物鏡下） 位置重復(fù)性：小于1 μm 最小掃描步長(zhǎng)：0.2μm 激光光斑：2μm |
| 數(shù)據(jù)采集 | 電流源表：Keithley 2450 測(cè)量范圍：1nA ? 1A 暗噪聲：50pA 分辨率：20fA |
| 探針臺(tái)模塊 | 直徑65mm真空吸附卡盤(pán) 探針座和樣品整體二維移動(dòng)，樣品位置單獨(dú)二維移動(dòng)，樣品位置移動(dòng)行程25mm，分辨率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選 |
| 軟件 | 光電流掃描（Mapping）：可以設(shè)定固定的電壓，逐點(diǎn)獲取電流值 I-V曲線掃描（Mapping）：可以設(shè)定指定的電壓區(qū)間，逐點(diǎn)獲取I-V曲線 指定區(qū)域掃描（Mapping） |
| 光譜響應(yīng)度測(cè)試（選配） | 光譜范圍200-1100nm，可以擴(kuò)展到2500nm 光譜響應(yīng)度曲線 量子效率曲線 偏壓設(shè)置功能 |
| 激光器（選項(xiàng)） | 波長(zhǎng)：405nm或者635nm可選，其他波長(zhǎng)咨詢(xún)銷(xiāo)售 能量穩(wěn)定性：小于1%@2個(gè)小時(shí) 功率：10mW和30mW（可選） |
測(cè)試案例：
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