Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。主要部件均采用國際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。