目錄:廣州市諾達(dá)電子有限公司>>手持泵吸式氣體檢測(cè)儀 SND系列>> 手持泵吸式三氟化氮?dú)怏w檢測(cè)儀
| 參考價(jià) | ￥1000-￥15000 | /件 |
參考價(jià)：￥1000 ~ ￥15000
更新時(shí)間：2025-06-24 08:42:20瀏覽次數(shù)：762評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,農(nóng)林牧漁,地礦 |
|---|
設(shè)備參數(shù)
檢測(cè)方式 | 泵吸式 |
測(cè)量氣體 | 三氟化氮 |
測(cè)量范圍 | 0-100ppm； 0-20ppm；(未列出量程可選） |
檢測(cè)原理 | 電化學(xué) |
檢測(cè)單位 | %VOL、%LEL、mg/m3、ppm、多種單位可選擇； |
分 辨 率 | 0.01ppm；（視量程而定） |
精度 | 3%F.S |
重復(fù)性 | 1%F.S |
顯示方式 | 2.5寸點(diǎn)陣顯示屏 |
數(shù)據(jù)記錄 | 高達(dá)80000條，可設(shè)置1次/1s、1次/10s、1次/60s |
響應(yīng)時(shí)間 | 30S |
自動(dòng)診斷 | 電池電量/顯示/傳感器/硬件故障等功能 |
防爆類型 | 本質(zhì)安全型設(shè)計(jì) |
重 量 | 0.26kg |
工作條件 | 0~90%RH［無凝露］ 常壓0.1MPA 溫度：-20-50度 |
尺寸 | 長(zhǎng)135mm×高65mm×寬35mm |
數(shù)據(jù)恢復(fù) | 方便快捷，一鍵恢復(fù)出廠設(shè)置 |
標(biāo)準(zhǔn) | GB 12358-2006、GB 3836.1-2010、GB 3836.4-2010 |
出廠配件 | 說明書、充電器、包裝鋁盒、測(cè)試報(bào)告、保修卡、合格證 |
三氟化氮?dú)怏w
NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無污染。氫與NF3反應(yīng)，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學(xué)激光器方面大量應(yīng)用的原理。在高溫下，NF3與有機(jī)化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，操作時(shí)應(yīng)十分謹(jǐn)慎。2.用作高能燃料
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