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Muegge隔離器MW1006A-210EC

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產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地天津市

更新時間:2026-02-12 10:26:55瀏覽次數(shù):26次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
Muegge隔離器MW1006A-210EC 適配于等離子體處理、微波加熱、半導(dǎo)體干法刻蝕及醫(yī)療廢棄物消毒等需要高功率、高隔離度的應(yīng)用場景。

Muegge隔離器MW1006A-210EC

Muegge MW1006A-210EC是一款專為2.45 GHz工業(yè)微波系統(tǒng)設(shè)計的1 kW級主組件隔離器,采用鐵氧體非互易技術(shù),實現(xiàn)微波信號的單向傳輸與反射功率吸收,適配于等離子體處理、微波加熱、半導(dǎo)體干法刻蝕及醫(yī)療廢棄物消毒等需要高功率、高隔離度的應(yīng)用場景。

核心技術(shù)參數(shù)

參數(shù)類別技術(shù)規(guī)格
工作頻率中心頻率2.10 GHz(兼容2.45 GHz ISM頻段),帶寬±50 MHz
功率等級1 kW連續(xù)波(風(fēng)冷版),可選水冷升級至3 kW
隔離與損耗反向隔離度>30 dB,正向傳輸損耗<0.2>95%)
駐波比<1.2:1(匹配良好時)
波導(dǎo)接口WR340(BJ26),鋁制抗流結(jié)構(gòu)法蘭盤,接觸電阻<0.1 mΩ
水負(fù)載參數(shù)不銹鋼316L材質(zhì),冷卻水流量5 L/min,溫升<30 ℃,承壓0.6 MPa
保護(hù)響應(yīng)時間聯(lián)鎖電路10 µs內(nèi)切斷磁控管高壓

核心結(jié)構(gòu)與工作原理

該隔離器核心結(jié)構(gòu)由三端口波導(dǎo)環(huán)行器與終端水負(fù)載組成:端口1接磁控管或固態(tài)功率源,端口2輸出至應(yīng)用腔體,端口3接水負(fù)載。鐵氧體環(huán)行器利用外加恒磁場與微波磁場的相互作用,使電磁波僅沿1→2→3方向傳輸,反向隔離度>30 dB(即反射功率<0.1 %),可有效保護(hù)磁控管免受負(fù)載失配導(dǎo)致的電壓駐波比(VSWR)損壞。當(dāng)腔體因等離子體阻抗變化或物料特性波動產(chǎn)生反射時,反射功率被定向至端口3的水負(fù)載,轉(zhuǎn)化為熱能由冷卻水帶走,避免能量回饋至功率源。

電氣性能與保護(hù)機(jī)制

MW1006A-210EC正向傳輸損耗<0.2>95 %),駐波比<1.2:1(匹配良好時),帶寬±50 MHz,可覆蓋磁控管頻率溫漂范圍。設(shè)備內(nèi)置的定向耦合器(可選)提供-50 dB采樣端口,可實時監(jiān)測正向與反射功率,并通過4–20 mA或RS-485輸出至PLC,實現(xiàn)閉環(huán)功率控制與故障保護(hù)。當(dāng)反射功率超過設(shè)定閾值(如10 %額定功率)時,聯(lián)鎖電路可在10 µs內(nèi)切斷磁控管高壓,防止管芯過熱。

Muegge隔離器MW1006A-210EC

應(yīng)用價值與拓展配置

該隔離器在實際應(yīng)用中體現(xiàn)出良好的保護(hù)效果:某半導(dǎo)體晶圓廠在CCP(容性耦合等離子體)刻蝕機(jī)中,因腔體匹配器故障導(dǎo)致VSWR驟升至5:1,MW1006A-210EC在100 µs內(nèi)將反射功率導(dǎo)向水負(fù)載,磁控管電流波動<5 %,避免了磁控管損壞;在微波食品干燥線上,物料含水率突變常引發(fā)負(fù)載失配,該隔離器可保障6 kW磁控管陣列在24 h連續(xù)運行中故障頻次較低,年維護(hù)成本有所降低。此外,該隔離器支持915 MHz版本(MW1006A-091EC)用于大型工業(yè)加熱,以及5.8 GHz版本用于醫(yī)療透析液消毒;還可按需選配氮氣吹掃接口,防止等離子體刻蝕中的腐蝕性氣體(如CF?、SF?)進(jìn)入波導(dǎo)。憑借高隔離度、快速響應(yīng)與工業(yè)級可靠性,Muegge MW1006A-210EC已成為2.45 GHz微波功率系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)保護(hù)組件,為等離子體工藝與工業(yè)加熱提供重要的安全保障。

Muegge隔離器MW1006A-210EC

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